2017
DOI: 10.21883/ftp.2017.05.44423.8458
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Фотоэлектрические Характеристики Структур Карбид Кремния-Кремний, Выращенных Методом Замещения Атомов В Кристаллической Решетке Кремния

Abstract: Представлены данные экспериментальных исследований фотоэлектрических характеристик структур кремний-карбид кремния, выращенных методом замещения атомов на подложках кремния ориентаций (100) и (111). Установлено, что максимальная эффективность преобразования солнечного света для гетероперехода кремний-карбид кремния (карбид кремния-кремний) составила 5.4%. С использованием теории образования дилатационных диполей при синтезе методом замещения атомов объяснен механизм формирования электрического барьера … Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1

Citation Types

0
0
0
3

Year Published

2017
2017
2018
2018

Publication Types

Select...
3

Relationship

2
1

Authors

Journals

citations
Cited by 3 publications
(3 citation statements)
references
References 4 publications
0
0
0
3
Order By: Relevance
“…Метод наноиндентирования является одним из наиболее перспективных методов изучения механических свойств кристаллов и их кристаллического качества как объем-ных материалов, так и тонких пленок [13][14][15]. Следует отметить, что в случае тонких пленок для получения наиболее корректных результатов измерения глубину проникновения индентора в исследуемый материал сле-дует ограничить 10% от общей толщины пленки, так как это позволит исключить влияние подложки.…”
Section: результаты исследованийunclassified
“…Метод наноиндентирования является одним из наиболее перспективных методов изучения механических свойств кристаллов и их кристаллического качества как объем-ных материалов, так и тонких пленок [13][14][15]. Следует отметить, что в случае тонких пленок для получения наиболее корректных результатов измерения глубину проникновения индентора в исследуемый материал сле-дует ограничить 10% от общей толщины пленки, так как это позволит исключить влияние подложки.…”
Section: результаты исследованийunclassified
“…Кремниевая вакансия будет обладать свойствами акцептора, т. е. получит отрицательный заряд. В результате возникнет электрический диполь, а в слое SiC возникнет электрическое поле [11]. Данная ситуация неустойчива, поскольку возникнет механохимический эффект, который приводит к тому, что часть атомов кремния будет смещаться по направлению к поверхности пленки.…”
Section: Introductionunclassified
“…В частности, получили распространение миниатюр-ные микро-/наноэлектромеханические системы, сенсо-ры, актуаторы, многослойные структуры [1][2][3][4], тонкие пленки, покрытия [5] и др. При их проектировании, изготовлении и эксплуатации необходимо учитывать, что физико-механические свойства традиционных и, особенно, новых, наноструктурированных материалов в субмикронных и нанообъемах, тонких пленках и приповерхностных слоях могут сильно отличаться от макроскопических свойств, приводимых в инженерных справочниках.…”
Section: Introductionunclassified