Эллипсометрия Тонких Пленок Ниобатов Бария-Стронция

Abstract

Представлены результаты эллипсометрических измерений оптических параметров наноразмерных сегнетоэлектрических пленок ниобатов бария-стронция Sr0,5Ba0,5Nb2O6 (SBN-50) / Al2O3 (0001) и Sr0,61Ba0,39Nb2O6 (SBN-61) / MgO (001) разной толщины. Установлено, что все пленки эпитаксиальные с направлением роста, параллельным полярной оси с кристалла. Определены показатели преломления, толщины базового и нарушенного слоев каждой из пленок, установлены закономерности свойств пленок в зависимости от их толщины.