KEYWORDS Microlithography X-ray lithography Electron-beam lithography PhotolithographyIon-beam lithography Resists GENERAL RESIST CONSIDERATIONSVirtually all resists for microelectronics are organic polymers, the primary function of which is to withstand an etching or deposition operation * Currently seconded to ISL Project, Rutherford Appleton Laboratory.

Bulk samples, of the order 0.2 mm thick, of cobalt-phosphorus alloys have been prepared by prolonged electroless deposition with phosphorus contents varying from 5 to 9 atyo. Alloys with less than 8.8 atyo were found to be crystalline with a single-phase h.c.p. structure, and those with 9 atyo were amorphous. The saturation magnetization, magnetostriction, coercivity, and susceptibility of the crystalline alloys varied uniformly with phosphorus content. The amorphous alloys had significantly different magnetic properties from the crystalline ones of similar composition; in particular the suscept.ibility was nearly two orders of magnitude greater. This greater susceptibility was predominantly associated with the absence of magnetocrystalline anisotropy in the non-crystalline material. On annealing, the amorphous material first transformed to a single-phase h.c.p. structure similar to that of the crystalline alloys, and at a higher temperature to the equilibrium two-phase structure of a cobalt-rich h.c.p. phase and an orthorhombic C0,P phase. The susceptibility of the amorphous alloy fell by II factor of 15 times on annealing. This was attributed to the introduction of crystalline order and hence magnetocrystalline anisotropy.Massive Proben von Kobalt-Phosphorlegierungen mit einer Dicke von der GroDenordnung 0,2 mm wurden durch fortgemtzte elektrodenlose Auftragung hergestellt, wobei der Phosphorgehalt zwischen 6 und 9 % variierte. Es wurde gefunden, da13 Legierungen mit weniger als 8,8 atyo in einer einzigen kristallinen Phase mit h.d.p.-Struktur kristallisieren und die mit 9 a t yo amorph sind. Die Siittigungsmagnetisierung, Magnetostriktion, Koerzitivkraft und Suszeptibilitat der kristallinen Legierungen iindern sich gleich-miiBig mit dem Phosphorgehalt. Die amorphen Legierungen zeigten betriichtlich unterschiedliche magnetische Eigenschaften gegenuber kristallinen Legierungen iihnlicher Zusammensetzung ; insbesondere war die Suszeptibilitat urn nahezu zwei GroBenordnungen gro0er. Diem grohre Suszeptibilitiit war vorwiegend mit dem Fehlen magnetokristalliner Anisotropie im nichtkristallinen Material verbunden. Bei einer Temperung ging das amorphe Material zuerst in eine einphasige h.d.p.-Struktur fiber, die der der kristallinen Legierung iihnlich ist, und bei einer hoheren Temperatur in die Gleichgewichts-Zwei-Phasen-Struktur, eine Kobalt angereicherta h.d.p.-Phase und eine orthorhombische Co,P-Phase. Die Suszeptibilitiit der amorphen Legierung ging um den Faktor fiinfiehn nach der Temperung zuriick. Dies wurde der Einfuhrung einer kristallinen Ordnung und damit einer magnetokristallinen Anisotropie zugeschrieben.

The variation of saturation magnetization with temperature of an Ni,,PI, alloy has been measured with the sample firstly in the as-deposited amorphous state and secondly in a crystalline metastable single phase condition. The Curie temperature of the amorphous sample was roughly three quarters that of the crystalline form, and the saturation magnetization at absolute zero of the amorphous sample roughly one third that of the ordered form. The corresponding states curve of the amorphous alloy was appreciably below that of its crystalline state which, in turn, was lower than that normally observed in ferromagnetic materials. The results are interpreted in terms of a large distribution in exchange interaction between neighbouring nickel atoms such that a significant proportion of the exchange coefficients are negative; an assumption supported by other radial distribution data. The moments of those atoms whose interactions are predominantly negative will tend t o lie antiparallel t o those of the bulk of the material thereby accounting for the low saturation moment at absolute zero of the amorphous sample. The name amorphous ferrimagnetism is suggested for such a phenomenon.Die h d e r u n g der Siittigungsmagnetisierung einer Ni,,P,,-Legierung mit der Temperatur wird erstens an Proben in ursprunglich aufgebrachtem, amorphem Zustand und zweitena a n Proben in einem kristallinen, metastabilen Einphasenzustand gemessen. Die Curietemperatur der amorphen Probe betrug ungefiihr Dreiviertel des Wertes der kristallinen Form und die Sattigungsmagnetisierung beim absoluten Nullpunkt nngefahr ein Drittel des Wertes der geordneten Phase. Die entsprechenden Zustandskurven der amorphen Legierung lagen betrachtlich unterhalb der des kristallinen Zustands, die ihrerseits niedriger als die in ferromagnetischen Meterialien beobachteten waren. Die Ergebnisse werden interpretiert mit einer groDen Verteilung der Austauschwechselwirkung zwischen benachbarten Nickelatomen, so da13 ein bedeutender Anteil der Austanschkoeffizienten negativ ist, eine Annahme, die durch andere Radialverteilongswerte bestiirkt wird. Die Momente derjenigen Atome, deren Wechselwirkungen vorherrschend negativ sind, werden bestrebt sein, sich antiparallel zii denen des Materialvolumens anzuordnen, und dabei fiir das niedrige Sattigungsmoment der aniorphen Probe am absoluten Nullpunkt verantwortlich sein. Der Ausdruck amorpher Ferrimagnetismus a i r d fur eine derartige Erscheinung vorgeschlagen.