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Kernthema des vorliegenden Beitrags ist die Schadensdiagnose von angetriebenen Werkzeugen mittels MEMS- (Micro-Electro-Mechanical-Systems) und Piezo-Sensoren. Mithilfe beider Typen werden verschlissene angetriebene Werkzeuge untersucht. Es steht zum einen die Frage im Raum, ob MEMS-Sensoren generell vergleichbare Ergebnisse wie die teureren Piezo-Sensoren liefern. Zum anderen wird untersucht, wie sich unterschiedliche Werkzeuge auf die Signalqualität auswirken. Es zeigt sich, dass der untersuchte MEMS-Ansatz ähnliche Effekte wie der Piezo-Sensor erfasst. Zudem zeigt sich ein Einfluss der Werkzeugmasse und -geometrie. So unterscheiden sich die Amplituden je nach Werkzeug um bis zu 200 Prozent.