. An UV-Ozone reactor was developed with an ignition tube extracted into HID mercury lamp used to irradiation on zinc oxide (ZnO) and fluorinated tin oxide (FTO) films for PLEDs devices. Different exposures times were used. In contact angle measurements revealed better results for ZnO and FTO by 15 and 5 min, respectively. In Diffuse Reflectance Infra-red Fourier Transformed (DRIFT) spectroscopy allowed the observation of water, hydrocarbon and carbon dioxide adsorbed on the untreated TCO surfaces. After the UV-Ozone treatment the contaminants were significantly reduced or eliminated and the PLEDs devices decreased threshold voltages in comparison with respectively untreated TCOs.Keywords: UV-Ozone; HID mercury vapor lamp; transparent conductive oxide.
INTRODUÇÃOÓxidos transparentes condutores (TCOs) são filmes semicondutores utilizados como eletrodo anodo na construção de dispositivos poliméricos eletroluminescentes, conhecidos por P/OLEDs (diodos poliméricos/orgânicos emissores de luz). Estes filmes possuem características ópticas e elétricas favoráveis para um bom desempenho dos dispositivos, tais como: boa transparência na faixa de comprimento de onda da luz visível, banda proibida entre 4,4~4,8 eV, baixa resistividade elétrica, estabilidade química e fácil decapagem. Na montagem de P/OLEDs, a etapa inicial pode ocorrer com um tratamento superficial sobre o TCO, eliminando contaminantes indesejáveis das superfícies como, por exemplo, umidade, hidrocarbonetos e gás carbônico, que prejudicam o bom desempenho dos dispositivos. 1 Neste caso, a téc-nica de tratamento de superfícies com UV-Ozônio pode ser utilizada em TCOs depositados sobre substratos de vidro e também plástico. 2 Devido à necessidade de protocolos de preparação de dispositivos poliméricos eletroluminescentes mais eficientes, tem-se tornada necessária a utilização de métodos de limpeza superficial mais simples e reprodutivos, com procedimentos mais eficazes e com custo reduzido. A limpeza utilizando a radiação com UV-Ozônio tem sido empregada com grande sucesso na área da microeletrônica, desde a década de 70. 3 Equipamentos de UV-Ozônio comerciais possuem uma lâmpada elétrica com gás de mercúrio, denominada lâmpada de catodo frio. 4 Este tipo de lâmpada fornece radiação ultravioleta, gerando ozônio. Na literatura, tem sido reportado que para a produção do ozônio é necessária a radiação ultravioleta baixa (de 100 até 280 nm) com um comprimento de onda λ < 243 nm, que dissocia a molécula de oxigê-nio proveniente do ar atmosférico. Outro comprimento de onda entre 240 e 320 nm causa a dissociação da molécula de ozônio liberando radicais livres de oxigênio, que atuam efetivamente no processo de tratamento dos TCOs. Este método descrito pode ser explicado com quatro equações químicas (de 1 até 4), no ciclo de Sidney Chapman: 5 Na técnica de UV-Ozônio, devido ocorrer a geração da radiação ultravioleta e também produção de ozônio (que é um forte agente oxidante) ambos potencialmente prejudiciais à saúde humana, esses tipos de lâmpadas devem ser isoladas ...
