Nitrogen trifluorida adalah gas termodinamika stabil, tidak berwarna, tidak berbahaya dan memiliki stabilitas rendah. NF 3 sedikit larut dalam air yaitu 0,021 g/100 ml tanpa mengalami reaksi kimia Riview ini bertujuan untuk menganalisis pengaruh sifat termodinamiaka dan besaran Kimia Fisika 3 terhadap pergerakan elektron. Metode yang digunakan dalam pembuatan riview ini adalah metode studi literatur dengan menggunakan endonote, komputasi dengan ChemOffice 15.0 dan perhitungan matematis pada sifat termokimia ΔfG˚ dan pada besaran viskositas, kecepatan hanyut, kecepatan difusi dan mobilitas ion. Untuk mengetahui beberapa besaran fisika senyawa ini, dihitung dengan menggunakan perhitungan matematis dengan rumus dan data dari jurnal yang sudah ada sebelumnya. Berdasarkan studi literatur didapatkan data bahwa gas NF3 memiliki sifat termokimia seperti, kapasitas kalor (C) 53,26 J/(mol·K), entropi molar standar (So) 260,3 J/(mol·K), entalpi pembentukan standar (ΔfHo) −31,4 kJ/mol, −109 kJ/mol dan energi bebas gibbs(ΔfG) −84,4 kJ/mol. Berdasarkan perhitungan secara sistematis didapat bahwa jika gas NF3 pada suhu 100 0C dan energi 150 kJ maka viskositasnya adalah 13,1480 sedangkan pada suhu 200 0C dan energi 150 kJ viskositas adalah 10,3683. Nilai mobolitas ion pada jarak 0,001 m dan 0,005 m berturut turut adalah 0,000025 dan 0,0000125. Nilai daya hanyut pada gaya gesek 1 N dan 3 N berturut turut adalah 7 s dan 5 serta nilai kecepatan difusi pada suhu 500C dan 1000C berurut turut adalah 100 m/s dan 200 m/s. Dan berdasarkan komputasi dengan menggunakan ChemOffice 15.0 diadapatkan data jari-jari molekul NF3, jari jari atom N dan jari jari atom F berturut turut adalah 137 pm , 1.820 dan 1.650. Dari komputasi ChemOffice 15.0 didapatkan bahwa energi optimasi dari senyawa NF3 untuk data iteration 5 dan 10 dengan, waktu, total energi, potensial energi dan suhu berturut-turut adalah 0.010; 0.037 ± 0.019; 0.016 ±0.012; 1.43 ± 0.90 dan 0.020; 0.089 ± 0.018; 0.043 ± 0.016; 3.07 ± 0.87. Keywords