Systematic experiments have shown that saturation density, nucleation rate, and condensation coefficient are considerably smaller than previously reported. The low condensation coefficient and the linear deposition rate dependence of the nucleation rate show that the model usually applied for the theoretical explanation of the nucleation process needs some revision. From measured condensation coefficients we have estimated the diffusion length of adatoms, xs = (14.4 j = 2.4) nm, and the difference between desorption and diffusion energy, E , -E,, = (0.31 f 0.01) eV. Possible reasons for the deviation of the new results from the earlier ones are discussed.Systematische Experimente haben gezeigt, daB die Siittigungskeimdichte, die Keimbildungsrate und der Kondensationskoeffizient wesentlich niedriger sind als fruher veroffentlichte Werte. Der geringe Kondensationskoeffizient und die lineare Abhiingigkeit der Keimbildungsrate von der Aufdampfrate weisen darauf hin, da13 das Modell, das gewohnlich zur theoretischen Beschreibung des Keimbildungsvorgangs verwendet wird, einiger Veriinderungen bedarf. Aus den gemessenen Kondensationskoeffizienten konnte die Diffusionslange der Adatome bei 150"C, x8 = (14,4 f 2,4) nm, und die Differenz zwischen Desorptionsund Diffusionsenergie, E, -E,, = (0.31 & 0,Ol) eV, abgeschiitzt werden. MoglicheUrsachen fur die Unterschiede zwischen den neuen und den fruheren Ergebnissen werden diskutiert.

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