F3SiPH2 wird nach Gl.(1) in Ausbeuten um 60% gebildet, während Br2SiF2 und Br3SiF auf Grund von Dismutationen nicht zu den entsprechenden Silylphosphinen führen. Es werden die NMR‐ und IR‐Daten mitgeteilt. F3SiPH2 wird von HE(CF3)2 (E = P, As) nicht gespalten. während es mit JE(CF3)2 nach Gl.(2) analog dem H3SiPH2 reagiert. Auf Grund geringerer Basizität des P‐Atoms im F3SiPH2 reagiert es langsamer als H3SiPH2. Die mit BCl3, BBr3, AlCl3 entstehenden Addukte sind weniger beständig als die des H3SiPH2. Demzufolge wird H3SiPH2 leichter gespalten als F3SiPH2.