Öz: Bu çalışmada, CuO ince filmler, ultrasonik sprey piroliz (USP) yöntemi ile farklı alttaş sıcaklıklarında (350, 400, 450 ve 500 C) cam altlıklar üzerine biriktirilmiştir ve ardından 525 C'de tavlanmıştır. X-ışını kırınımı (XRD) analizlerinde, 350 C alttaş sıcaklığında ve tavlanmayan durumda ince filmlerde pik şiddetine rastlanmamıştır. Diğer filmlerin XRD desenlerinde 36º ve 39º'de iki belirgin pik gözlemlenmiştir. Bu pikler CuO'in monoklinik kristal yapısına ait karakteristik piklerdir. Atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ve taramalı elektron mikroskobu (SEM) görüntülerinden, CuO ince filmlerin yüzeylerinin pürüzsüz olmadığı ve tavlama ile tane yığınlarının meydana geldiği gözlenmiştir. CuO ince filmlerin optik özellikleri ultraviyole-görünür bölge (UV-Vis) ölçümleri ile analiz edilmiştir. Tauc grafiklerinden yasak band aralığı değerleri (Eg), tavlanmamış ve tavlanan numuneler için hesaplanmıştır. USP yöntemiyle üretilen CuO ince filmlerin yapısal, morfolojik ve optik özelliklerinin alttaş sıcaklığı ile kontrol edilebileceği görülmüştür.