Der Beitrag beschreibt ein Hard- und Softwarekonzept für vernetzte Fertigungsmodule. Eine modulare Systemarchitektur sowie die dezentrale Steuerung durch Prozessmodelle auf Basis von BPMN2 erlauben eine kundenspezifische Produktion bis hin zu Losgröße eins. Anhand eines vertikal in die Unternehmens-IT integrierten Demonstrators wurden die Vorteile als Showcase für Industrie 4.0 auf verschiedenen Fachmessen erlebbar. Der innovative Ansatz wurde im Verbundprojekt itsowl-FlexiMon im Rahmen des BMBF Spitzenclusters „Intelligente Technische Systeme OstWestfalenLippe“ (it’s OWL) entwickelt.   This contribution describes a distributed modular production system for individualized production. A modular system architecture and semi-autonomous cell control based on executable process models with BPMN2 are used to realize a customer specific production down to lot size one. The advantages have become tangible through a vertically integrated demonstrator that has been exhibited at different fares and showcases the progress towards Industry 4.0. The overall approach was developed in the project itsowl-FlexiMon in the framework of the BMBF leading edge cluster „Intelligent Technical Systems OWL“ (it’s OWL).