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Membranvakuumpumpen haben sich im chemischen Labor wie auch als Vorpumpe für Hochvakuumsysteme durchgesetzt. Sowohl Flachmembrane als auch Formmembrane (und deren Ausbildung als Strukturmembran) werden verwendet. Langzeittests ergeben, daß sich der Enddruck von Formmembranpumpen nach einigen hundert Stunden durch Elastomerermüdung und ‐abrieb zunehmend verschlechtert. Auch der Saugvermögensverlauf dieses Membrantyps ist für praktische Anwendungen ungünstig. Flachmembranpumpen besitzen eine geeignetere Charakteristik und — bei entsprechender Fertigungsqualität — konstante Leistungsdaten über die gesamte Lebensdauer von über 10000 Stunden.

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Totaldruck‐Vakuummessgeräte mit vollelektronischer Auswertung, die nach der Schutzart »Eigensicher« für explosionsgefährdete Bereiche gebaut sind, bieten gegenüber rein mechanischen Messgeräten erhebliche Vorteile bei niedrigeren Anschaffungskosten. Kapazitiv auswertende Aluminiumoxid‐Drucksensoren gewährleisten größtmögliche Korrosionsbeständigkeit (besonders wichtig für Chemieanwendungen) und eine präzise Absolutdruckmessung mit hoher Temperatur‐ und Langzeitstabilität. Die Meßgeräte besitzen keine empfindliche Mechanik und sind weitgehend erschütterungs‐ und druckstoßunempfindlich. Eine integrierte Stromschnittstelle ermöglicht das ferngesteuerte Einschalten und Auslesen der Messgeräte.