Unter den metallischen Werkstoffen sind Kupfer und rotes Messing (Cu‐15 Zn) sowie halbberuhigter Kohlenstoffstahl und Chrom‐Nickel‐Molybdänstahl in konzentrierter Flußsäure bis zum Siedepunkt beständig. Da Nickel und Monel gegen Flußsäure im gesamten Konzentrationsbereich beständig sind, können sie z.B. neben Kohlenstoffstahl als Werkstoff für Transport‐ und Lagerbehälter für Flußsäure verwendet werden. Nickel‐Chrom‐Eisenlegierungen (Inconel‐600) zeigen in Flußsäure von 40 bis 60% bis zu 370 K keine merkliche Korrosion. Auch Nickel‐Chrom‐Molybdänlegierungen (Hastelloy) sind ebenfalls gegen Flußsäure beständig. Von den anorganischen Werkstoffen sind besonders Graphit und Aluminiumoxid zu nennen, die gegen Flußsäure bis 60% (310 K) beständig sind. Synthetische Saphirkristalle (Al2O3) werden wegen ihrer guten optischen Eigenschaften bei guter Korrosionsbeständigkeit als Werkstoff für Fenster in Gegenwart von Fluorwasserstoff und Flußsäure verwendet. Polyethylen, Polypropylen und PVC zählen als Behälter‐ und Auskleidungsmaterial zum Schutz gegen Flußsäure zu den korrosionsbeständigsten und kostengünstigsten Werkstoffen. Gewisse Polyester, mit Glas‐ und Graphitfasern verstärkt, haben sich als Werkstoffe für Anlagen in Gegenwart flußsäurehaltiger Laugen und Gase bis 330 K bewährt. Zur Auskleidung von Reaktionsanlagen mit Gemischen aus Flußsäure wird kohlenstoffhaltiges Epoxharz empfohlen. Für Absperrorgane, Wellen und Ventilsitze werden wegen der guten Gleiteigenschaften bei hoher Korrosionsbestandigkeit gegen konzentrierte Flußsäure und HNO3‐HF‐Lösungen – auch bei höheren Temperaturen – PTFE und Polyvinylidenfluorid verwendet. Kostspielige Legierungen, wie z.B. Hastelloy und Monel, werden in zunehmendem Maße durch faserverstärkte Polyolefine, PVC und Fluorcarbonharze verdrängt.

Unter den Metallen sind Aluminium und Duralumin gegen Fluor und trockenen Fluorwasserstoff bis 600 bzw. 700 K beständig. Die Beständigkeit von Nickel und seiner Legierungen, insbesondere Monel, gegen Fluor und Fluorwasserstoff reicht sogar bis etwa 900 bzw. 800 K. Beim Angriff von Fluor auf Nickel‐Chromlegierungen zwischen 1000 und 1300 K tritt auch eine innere Fluorierung ähnlich der inneren Oxidschichtbildung auf. Die Beständigkeit von Titan in wasserfreiem flüssigem Fluor ist bei niedrigen Temperaturen mit < 0,3 mm · a−1 vergleichbar mit der von Nickel und Monel. In gasförmigem Fluor aber beträgt die Korrosion von Titan bei 377 K nur 0,0082 mm · a−1. Trotz ihrer bedingten Beständigkeit gegen Fluor und Fluorwasserstoff werden reinstes Molybdän und Wolfram wegen ihrer Festigkeit bei hohen Temperaturen in der Raketentechnik beim Antrieb mit Fluor‐Wasserstoff bzw. Fluor‐Hydrazin eingesetzt. Lanthan‐ und Calciumboride widerstehen Fluor‐Hydrazinflammen zwischen 1400 und 1800 K und sind allen Speziallegierungen weit überlegen. Dieses gilt auch im niedrigeren Temperaturbereich (290–400 K) für die Fluorcarbonharze. Organische Werkstoffe verdrängen immer mehr metallische und nichtmetallische anorganische Werkstoffe.