Магнетронным напылением на кремниевые монокристаллические подложки получены трехслойные пленки, содержащие слой дисперсионно-твердеющего сплава (СДТС) на основе системы Fe-Cr-Co. Установлено, что толщина слоя меди, который обеспечивает сохранность дисперсионно-твердеющего сплава СДТС на подложке после отжига, должна быть не менее толщины дисперсионно-твердеющего сплава СДТС. Построена зависимость радиуса изгиба образцов подложек со структурами от температуры изохронного отжига и определены критические температуры и радиусы изгиба, приводящие к разрушению пленок после такого отжига, для различных толщин дисперсионновердеющего сплава СДТС. Получена зависимость коэрцитивной силы (КС) пленок от температуры изохронного отжига, которая при определенных условиях отжига превышает уровень,необходимый для применения этих пленок в магниторезистивных датчиках тока. Сделан вывод о том, что рост коэрцитивной силы КС после отжига связан с образованием выступов в дисперсионно-твердеющем сплаве СДТС.           ЛИТЕРАТУРА1. Masahiro Kitada, Yoshihisa Kamo, Hideo Tanabe. Magnetoresistive thinНfi lm sensor with permanentmagnet biasing fi lm // Journal of Applied Physics, 1985, v. 58(4), pp. 1667–1670. DOI: https://doi.org/10.1063/1.3360582. Leo K. E. B. Serrona, Sugimura A., Fujisaki R., Okuda T., Adachi N., Ohsato H., Sakamoto I., NakanishiA. Magnetic and structural properties of NdFeB thin fi lm prepared by step annealing // Materials Scienceand Engineering B, 2003,v. 97(1), pp. 59–63. DOI: https://doi.org/10.1016/s0921-5107(02)00401-43. Хлопов Б. В., Самойлова В. С., Юрьев И. А. Изменение состояния тонкопленочных слоев маг-нитных материалов, применяемых в системах внешней памяти жестких магнитных дисков //T-Comm: Телекоммуникация и транспорт, 2015, т. 9(12), с. 5–11.4. Коноплёв Ю. В., Изгородин А. К. Структурообразование, свойства и применение горячедеформированных сплавов ЮНДК и ЮНДКТ. Режимдоступа: https://cyberleninka.ru/article/n/strukturoobrazovanie-svoystva-i-primenenie-gorya achedeformirovannyh-splavov-yundk-i-yundkt (датаобращения: 24.10.2019).5. Kaneko H., Homma M., Nakamura K. New ductile permanent magnet of Fe–Cr–Co system // AJP ConferenceProceedings. 1972, no. 5, рp. 1088–1092. DOI: https://doi.org/10.1063/1.29538146. ГОСТ 24897-81. Материалы магнитотвердые деформируемые. Solid magnetic deformed materials.Marks. М.: Издательство стандартов, 1981, 21 с.7. Овсянников Г. А., Петржик А. М., Борисенко И. В., Климов А. А., Игнатов Ю. А., Демидов В. В.,Никитов С. А. Магнитно-транспортные характеристики напряженных эпитаксиальных манганитных пленок La0.7Sr0.3MnO3 // ЖЭТФ, 2009, т. 135(1), с. 56-64.8. Сайт компании ООО «ГЕО-НДТ». Режим доступа: https://www.geo-ndt.ru/pribor-6855-rentgenoflyorescentnii-analizator-metekspert.htm (дата обращения: 20.10.2019)9. Кекало И. Б., Самарин Б. А. Физическое металловедение прецизионных сплавов. Сплавы с особымимагнитными свойствами. M.: Металлургия, 1989, 496 с.10. Справочник по цветным металлам. Режим доступа: https://libmetal.ru/index.htm (дата обращения: 24.10.2019)11. Всё о металлургии. Режим доступа: http://metal-archive.ru/vanadiy/955-mehanicheskiesvoystva-vanadiya.html (дата обращения : 24.10.2019)12. Громов Д. Г. Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие / Д. Г. Громов,А. И. Мочалов, А. Д Сулимин, В. И. Шевяков. М.: БИНОМ, 2012. 277 с.13. Прохоров И. А., Захаров Б. Г. Рентгенодифракционные исследования особенностей релакса-ции и распределения макронапряжений в эпитаксиальных структурах // Поверхность. Рентгеновские,синхротронные и нейтронные исследования, 1999, № 2, с. 106–109.14. Stouney G. S. The Tension of Metallic Films Deposited by Electrolysis // Proceedings of the RoyalSociety A: Mathematical, Physical and Engineering Sciences, 1909, v. 82(553), pp. 172–175. DOI: https://doi.org/10.1098/rspa.1909.002115. Добрынин В. А. О применимости формулы Стоуни для расчета механических напряжений втолстых пленках и покрытиях // Письма в ЖТФ, 1997, т. 23, № 18, с. 32–36.16. Громов Д. Г. Размерный эффект плавления в пленочных структурах наноэлектроники // Нанотехнологии в электронике. Выпуск 2: Сб. науч. тр. М.: Техносфера, 2013, с. 136–177.17. Громов Д. Г., Гаврилов С. А., Редичев Е. Н., Аммосов Р. М. Кинетика процессов плавления-диспергирования тонких пленок меди // ФТТ, 2007, т. 49(1), с. 173-177.

Цель статьи – определение фазового состава структур пленочных постоянных магнитов со слоями сплава Fe-Cr-Co микронного диапазона толщин, называемого сплавом Kaneko. Знание фазового состава необходимо для разработки физико-технологических подходов создания оптимальных структур на подложках монокристаллического кремния с пленочным постоянным магнитом на основе дисперсионно-твердеющего сплава с вектором намагниченности в плоскости кремниевой подложки.Методом магнетронного напыления на кремниевой подложке были  получены трехслойные металлические пленки: слой дисперсионно-твердеющего сплава на основе системы Fe-Cr-Co (толщиной 3600 нм), компенсационный медный слой (3800 нм) и ванадиевый адгезионно-барьерный слой (110 нм). Сформированные на кремниевой подложке многослойные пленки подвергались одноминутному отжигу в высоком вакууме в диапазоне температур 600–650 °С. Методом рентгеновской дифракции выполнен качественный фазовый анализ структур, полученныхмагнетронным напылением и подвергнутых одноступенчатой термической обработке.Определено, что в слое дисперсионно-твердеющего сплава на основе системы Fe-Cr-Co, полученного магнетронным напылением, не образуются окислы основных компонентов и s-фаза, как в процессе получения, так и после высоковакуумного «быстрого» одноминутного отжига в диапазоне температур 600–650 °С. При температуре отжига 630 °С наблюдается максимальная интенсивность рентгеновской линии (110) a-фазы, что свидетельствует о формировании преимущественно a-твердого раствора и является предпосылкой для корректного проведения последующих ступеней отжига для спинодального распада этой фазы.         ЛИТЕРАТУРА Kaneko H., Homma M., Nakamura K. New ductile permanent magnet of Fe-Cr-Co system. AJP Conference Proceedings. 1972;5: 1088–1092. DOI: https://doi.org/10.1063/1.2953814 Tsung-Shune Chin, Kou-Her Wang, Cheng-Hsiung Lin. High coercivity Fe-Cr-Co thin fi lms by vacuum evaporation. Japanese Journal of Applied Physics. 1991;30(8): 1652–1695. DOI: https://doi.org/10.1143/jjap.30.1692 Chang H. C., Chang Y. H., Yao S. Y. The magnetic properties and microstructures of Fe-Cr-Co thin fi lms obtained by ion beam sputtering. Materials Science and Engineering B. 1996; 39(2): 87–94. DOI: https://doi.org/10.1016/0921-5107(95)01428-4 Masahiro Kitada, Yoshihisa Kamo, Hideo Tanabe. Magnetoresistive thin-fi lm sensor with permanent magnet biasing film. Journal of Applied Physics. 1985;58(4): 1667–1670. DOI: https://doi.org/10.1063/1.336058 Rastabi R. A., Ghasemi A., Tavoosi M., Ramazani M. Magnetic features of Fe-Cr-Co alloys with tailoring chromium content fabricated by spark plasma sintering. Magnetic Materials. 2017;426(15): 742–752. DOI: https://doi.org/10.1016/j.jmmm.2016.10.132 Zubair Ahmad, Zhongwu Liu, A. ul Haq. Synthesis, magnetic and microstructural properties  of Alnico magnets with additives. Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2017;428: 125–131. DOI: https://doi.org/10.1016/j.jmmm.2016.12.023 Jin Y., Zhang W., Kharel P. R., Valloppilly S. R., Skomski R., Sellmyer D. J. Effect of boron doping on nanostructure and magnetism of rapidly quenched Zr2Co11-based alloys. AIP Adv. 2016;6(5): 056002. DOI: https://doi.org/https://doi.org/10.1063/1.4942556 Lin Zhang, Zhaolong Xiang, Xiaodi Li, Engang Wang. Spinodal decomposition in Fe-25Cr-12Co alloys under the infl uence of high magnetic fi eld and the effect of grain boundary. Nanomaterials (Basel). 2018;8(8): 578. DOI: https://doi.org/10.3390/nano8080578 Zayonchkovskiy V., Kyaw A. K., Milyaev, I., Perov N., Prokhorov I., Klimov A., Andreev A. (2019). Thin metal fi lms with dispersion-hardening magnetic layers of Fe–Cr–Co alloy. Kondensirovannye Sredyi Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases. 2019;21(4): 505–518. DOI: https://doi.org/10.17308/kcmf.2019.21/2362 Миркин Л. И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. М.: Физматгиз; 1961. 863 с. Сайт компании NanoFocus. Режим доступа: https://m.nanofocus.de/en/ Сайт компании ООО “ГЕО-НДТ”. Режим доступа: https://www.geo-ndt.ru/pribor-6855-rentgenoflyorescentnii-analizator-metekspert.htm Справочник по цветным металлам. Режим доступа: https://libmetal.ru/index.htm Сайт «Всё о металлургии». Режим доступа:  http://metal-archive.ru/vanadiy/955-mehanicheskiesvoystva-vanadiya.html Громов Д. Г. Мочалов А. И., Сулимин А. Д., Шевяков В. И. Металлизация ультрабольших интегральных схем. М.: БИНОМ; 2012. 277 с. Лякишев Н. П., Банных О. А., Рохлин Л. Л. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник в трех томах. М.: Машиностроение; 1997. 872 c. Кекало И. Б., Самарин Б. А. Физическое металловедение прецизионных сплавов. Сплавы с особыми магнитными свойствами. M.: Металлургия; 1989. 496 с. ГОСТ 24897-81. Материалы магнитотвердые деформируемые. Solid magnetic deformed materials. Marks. М.: Издательство стандартов; 1981. 21 с. Bragg W. L. The diffraction of short electromagnetic waves by a crystal. Proceedings of the Cambridge Philosophical Society, 17, 43–57 (1913). Communicated by Professor Sir J. J. Thomson. Read 11 November 1912. In: X-ray and Neutron Diffraction. Elsevier; 1966. p. 19–125. DOI:  https://doi.org/10.1016/b978-0-08-011999-1.50015-8 Кремний. Физическая энциклопедия. Гл. ред. А. М. Прохоров. М.: Советская энциклопедия; 1990. 704 с. Vompe T. N., D’yakonova N., Milyaev I., Prutskov M. Kinetics of s-phase formation in a strain aging hard magnetic Fe-33% Cr-12% Co-2% Cu alloy. Russian Metallurgy (Metally). 2012;(1): 55–57. DOI: https://doi.org/10.1134/s0036029512010168 Генералова К. Н., Ряпосов И. В., Шацов А. А. Порошковые сплавы системы Fe-Cr-Co, термообработанные в области «гребня». Письма о материалах. 2017;7(2): 133–136. DOI: https://doi.org/10.22226/2410-3535-2017-2-133-136 Медь. Физическая энциклопедия. М.: Советская энциклопедия; 1992. 672. International Centre for Diffraction Data (ICDD).Режим доступа: www.icdd.com Козвонин В. А., Шацов А. А., Ряпосов И. В. Поликомпонентные концентрационнонеоднородные сплавы системы Fe–Cr–Co–Si–B повышенной плотности. Вестник ПНИПУ. Машиностроение материаловедение. 2016;18(4): 188–202. DOI: https://doi.10.15595/2224-9877/2016.4.14

A method to improve the image quality for the laser-projection 3D light field display is proposed. A mathematical model established by analyzing the principle of light field imaging, and the reconstruction of image source are discussed. The simulation and experiment further validate that the proposed algorithm can effectively improve the image quality of the display.