4.4 Caracterización dinámica de microrresonadores piezoeléctricos……….. 4.4.1 Caracterización mediante el sistema de interferometría láser… 4.4.2 Comparación de las medidas de interferometría láser con la . simulación por elementos finitos……………………………………. 4.4.3 Caracterización mediante vibrometría láser de barrido……….. 4.4.4 Caracterización de microrresonadores piezoeléctricos mediante técnicas eléctricas………………………………………….
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