При создании микромеханических резонансных акселерометров не-обходимо обеспечить высокую чувствительность прибора, которая непо-средственно связана с амплитудой отклонения инерционной массы под действием ускорения. Увеличение инерционной массы приводит к повы-шению чувствительности датчика. Использование различных подвесов обеспечивает высокую чувствительность датчика при малых размерах инерционной массы.Представлена математическая модель прямоугольной складчатой кремниевой балки микромеханического резонансного акселерометра, по-лучено соотношение для определения коэффициента жесткости складча-той пружины, применяемой в ряде конструкций микромеханических дат-чиков, приведены результаты расчета ее параметров. С помощью программы ANSYS проведено моделирование складчатой балки, подтвер-дившее результаты расчета. Результаты расчета коэффициента жесткости складчатой балки сравниваются с данными из других источников. Учет остаточного напряжения (до 100 МПа) показал снижение деформации балки на 2,92-3,7 % в зависимости от ориентации кремния.Использование складчатых балок компактных размеров позволяет по-высить эффективность работы резонатора, добиться большего смещения в направлении воздействия ускорения и стабильности положения инерци-онной массы в других направлениях, учитывая гибкость и жесткость в разных направлениях.Ключевые слова: складчатая балка; микромеханический резонансный акселе-рометр; инерционная масса; подвесы; гибкость; жесткость.