Σκοπός της διατριβής ήταν η μελέτη και μοντελοποίηση της ηλεκτρομαγνητικής σύζευξης μεταλλικών γραμμών και ολοκληρωμένων πηνίων διαμέσου του υποστρώματος πυριτίου και της διαστρωμάτωσης των διαφόρων επιπέδων οξειδίων επάνω στο πυρίτιο στα ολοκληρωμένα κυκλώματα. Επίσης, αναπτύχθηκαν μέθοδοι μοντελοποίησης στις υψηλές συχνότητες των κατακόρυφων διασυνδέσεων διαμέσου του υποστρώματος πυριτίου που χρησιμοποιούνται στα τρισδιάστατα ολοκληρωμένα κυκλώματα αλλά και των βλαβών που συμβαίνουν σε αυτές. Τέλος, αναπτύχθηκε μία νέα μέθοδος εξέτασης των διασυνδέσεων διαμέσου του υποστρώματος πυριτίου, που παρουσιάζει ευρωστία, ανοχή στις διακυμάνσεις, έχει χαμηλό κόστος και ευκολία υλοποίησης.