Исследовалась диффузия примеси магния в пластины монокристаллического бездислокационного дырочного кремния в диапазоне температур T = 600-800 oC. Источником диффузии служил слой, имплантированный магнием с энергией ионов 150 кэВ при дозах 5·1014 и 2· 1015 см-2. Коэффициент диффузии межузельных донорных центров магния Di при некоторой заданной T пределялся путем измерения глубины p-n-перехода, который формировался в образцах, прошедших термообработку в течение времени t. В результате исследований впервые определена зависимость Di(T). Данные свидетельствуют, что диффузия осуществляется преимущественно по межузельному механизму. DOI: 10.21883/FTP.2017.01.8313