Исследованы структурные и электрофизические свойства пленок титанатацирконата бария на подложках чистого сапфира и сапфира с платиновым подслоем. Установлено, что материал подложки оказывает существенное влияние на кристаллическую структуру, фазовый состав пленок и их электрические характеристики. Показано, что емкостные элементы на основе пленок титанатацирконата бария обеспечивают высокую нелинейность при низком уровне диэлектрических потерь на частоте 2 GHz.