Оптимизирована технология совместного и последовательного вакуумного напыления перовскитных пленок со смешанными галогенами (CH3NH3PbI3–xClx). Продемонстрирована возможность улучшения термической стабильности пленок добавлением атомов цезия в неорганический прекурсор. Синтезированы и исследованы структурные и оптические свойства перовскитных пленок на черном кремнии. Показано, что формируются качественные по структуре и фазовому составу пленки, которые характеризуются низким коэффициентом отражения в широком диапазоне длин волн излучения. Вакуумно-напыленные перовскитные пленки на черном кремнии имеют большой потенциал для разработки высокоэффективных тандемных солнечных элементов. The technology of vacuum co-deposition and sequential deposition of the mixed-halide perovskite films (CH3NH3PbI3–xClx) has been optimized. The possibility of improving the thermal stability of films by adding cesium atoms to an inorganic precursor is demonstrated. The structural and optical properties of perovskite films on black silicon are synthesized and studied. It is shown that films of high quality in structure and phase composition are formed, which are characterized by a low reflection coefficient in a wide range of radiation wavelengths. Vacuum-deposited perovskite films on black silicon have great potential for the development of high-efficiency tandem solar cells.