Поступило в Редакцию 26 сентября 2016 г.Предложен способ получения наносистем Zn при конденсации слабопересы-щенных паров на систему мембрана анодно-окисленного алюминия (АОА) -подложка (Si). Для эффективного проникновения паров Zn в глубь пор АОА параллельно образующим пор формировался направленный паровой поток, при этом температура внешней поверхности мембраны была выше температуры подложки. Слабые паровые потоки получены при магнетронном распылении Zn в высокочистой инертной среде. Определены оптимальные условия формирова-ния наносистем Zn в виде массива упорядоченных островков на поверхности подложки и связанных нанонитей на поверхности мембраны. DOI: 10.21883/PJTF.2017.04.44303.16485 Упорядоченные массивы наноостровков металлов и полупроводни-ков привлекают значительный научный интерес благодаря перспек-тивам их использования в электронике, оптоэлектронике, сенсорах, ультратонких мониторах, устройствах хранения информации высокой плотности [1,2]. Различные наносистемы металлов обычно получают используя наношаблоны в виде мембран анодно-окисленного алюми-ния (АОА) [3][4][5], электронно-лучевую литографию [6-8] и процессы самоорганизации [9,10]. Важно подчеркнуть, что для реализации шаб-лонного метода с применением мембран АОА обычно используется электролитическое осаждение [4,5]. Необходимым условием реализации электролитического осаждения является достаточная для этого электро-проводность подложек. Следовательно, спектр применяемых при этом подложек имеет определенные ограничения.В отличие от электролитического осаждения для формирования упорядоченных массивов наноостровков Zn нами предложен более универсальный метод конденсации вещества вблизи термодинамиче-ского равновесия на систему мембрана АОА -подложка. При этом 94
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
customersupport@researchsolutions.com
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
This site is protected by reCAPTCHA and the Google Privacy Policy and Terms of Service apply.
Copyright © 2025 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.