Создан фотодетектор видимого и ближнего инфракрасного диапазона длин волн на основе осажденного из газовой фазы модулированно-легированного бором алмаза. Поглощение электромагнитного излучения происходит в тонком биметаллическом слое Cr (толщина 7 nm) и Au (толщина 5.5 nm), находящемся на поверхности осажденной алмазной пленки, состоящей из высоколегированного (до концентрации 5· 1019 cm-3) дельта-слоя с толщиной 3 nm, низколегированного (~ 1017 cm-3) слоя с толщиной 800 nm и высоколегированного (1020 cm-3) слоя с толщиной ~ 10 mum, на котором сформирован омический контакт Ti(50 nm)/Pt(15 nm)/ Au(30 nm). Рождающиеся в биметаллическом слое дырки диффундируют в алмаз, ускоряются электрическим полем, создаваемым пространственным зарядом в низколегированном слое, и создают фототок. Измеренная ампер-ваттная чувствительность достигает 1 muA/W при длине волны излучения 445 nm и 0.18 muA/W при 1.06 mum. DOI: 10.21883/PJTF.2017.24.45343.16860
scite is a Brooklyn-based organization that helps researchers better discover and understand research articles through Smart Citations–citations that display the context of the citation and describe whether the article provides supporting or contrasting evidence. scite is used by students and researchers from around the world and is funded in part by the National Science Foundation and the National Institute on Drug Abuse of the National Institutes of Health.
customersupport@researchsolutions.com
10624 S. Eastern Ave., Ste. A-614
Henderson, NV 89052, USA
This site is protected by reCAPTCHA and the Google Privacy Policy and Terms of Service apply.
Copyright © 2024 scite LLC. All rights reserved.
Made with 💙 for researchers
Part of the Research Solutions Family.