С использованием сандвич-метода легирования монокристаллического бездислокационного кремния магнием исследована диффузия примеси в диапазоне температур 1000-1200oС. Найденная зависимость коэффициента диффузии межузельного магния от температуры универсальным образом описывает данные настоящей работы и ранее исследованную температурную область 600-800oС. Малая энергия активации диффузии (1.83 эВ) свидетельствует о межузельном транспорте примеси. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44792.8532