Проведены количественные исследования оптических параметров поверхностного слоя, образующегося в процессе полирования кварцевого стекла. Показано, что механизм формирования поверхностного слоя при использовании методов механо-химической и ионной полировки имеет много общего. В обоих случаях появление поверхностного слоя, отличающегося высоким показателем преломления от соответствующих объемных свойств стекла, связано с напряжением и разрывом мостиковых связей Si-O-Si в процессе гидролиза при полировке стекла. Гидролиз связей Si-O-Si связан с образованием групп Si-O и Si-OН, что приводит к увеличению показателя преломления поверхностного слоя. Ключенвые слова: