Транзисторы с высокой подвижностью электронов на основе эпитаксиальных гетероструктур AlGaN/GaN являются перспективной элементной базой для создания устройств силовой электроники следующего поколения. Это обусловлено как высокой подвижностью носителей заряда в канале транзистора, так и высокой электрической прочностью материала, позволяющей достичь высоких напряжений пробоя. Для применения в силовых коммутационных устройствах требуются нормально закрытые GaN-транзисторы, работающие в режиме обогащения. Для создания нормально закрытых GaN-транзисторов чаще всего используют подзатворную область на основе GaN p-типа, легированного магнием (p-GaN). Однако оптимизация толщины эпитаксиального слоя p-GaN и уровня легирования позволяет добиться порогового напряжения отпирания GaN-транзисторов, близкого к Vth=+2 В. В настоящей работе показано, что использование подзатворной МДП-структуры в составе p-GaN-транзистора приводит к увеличению порогового напряжения отпирания до Vth=+6.8 В, которое в широком диапазоне будет определяться толщиной подзатворного диэлектрика. Кроме того, установлено, что использование МДП-структуры приводит к уменьшению начального тока транзистора, а также затворного тока в открытом состоянии, что позволит уменьшить потери энергии при управлении мощными GaN-транзисторами. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44895.8569

В данной работе представлены результаты разработки СВЧ монолитной интегральной схемы шестиразрядного фазовращателя и усилителя мощности диапазона частот 26-30 ГГц. СКО ошибки по фазе и амплитуде фазовращателя составили 1,2 град. и 0,13 дБ соответственно. Максимальная выходная мощность и КПД по добавленной мощности усилителя в точке сжатия Ку на 1 дБ составили 30 дБм и 20 % соответственно. This paper describes the design, layout, and performance of 6-bit phase shifter and power amplifier monolithic microwave integrated circuit (MMIC), 26-30 GHz band. Phase shifter MMIC has RMS phase error of 1.2 deg. And RMD amplitude error is 0.13 dB. MMIC power amplifier has output power capability of 30 dBm at 1 dB gain compression (P-1dB) and PAE of 20 %.