No abstract

No abstract

No abstract

No abstract

Ужгородський національний університет, 88000, Ужгород, вул. Волошина, 54Методом електрон-фотонної емісії (ЕФЕ) та іон-фотонної емісії (ІФЕ) ви-вчено спектральний склад поверхні кремнію при бомбардуванні електронами і іонами середніх енергій Пояснено виявлені особливості в отриманих спектрах. Обчислено абсолютний вихід фотонів з поверхні кремнію при бомбардуванні електронами з енергією 800 еВ в діапазоні довжин хвиль 200-800 нм, який ста-новить N ≈ 6,9×10 -4 фот./ел.Широке використання кремнію в су-часних мікро-та нано-технологіях викли-кають великий інтерес до дослідження його мікроскопічних характеристик, зок-рема електронної структури поверхні [1,2]. В даній роботі вивчення кремнію з поверхневою орієнтацією (111) проводи-лося методами іон-фотонної емісії (ІФЕ) і електрон-фотонної емісії (ЕФЕ). Дослі-дження ІФЕ проводились на установці "Карпати" в діапазоні довжин хвиль 200-600 нм, де поверхня кремнію опроміню-валась іонами Не + з енергією 15 кеВ під кутом 30° відносно нормалі до поверхні. Струм іонного пучка на мішені становив І іон. =300 мкА, тиск атмосферних газів в робочій камері Р іон. =3×10 -6 Тор. Дослі-дження ЕФЕ проводились на "Надвисоко-вакуумному електрон-фотонному спект-рометрі", який створений на базі установ-ки УСУ-4 [3], в діапазоні довжин хвиль 200-800 нм, де поверхня кремнію опромі-нювалась електронами з енергією 800 еВ під кутом 25° відносно нормалі до повер-хні. Кінцевий тиск атмосферних газів в робочій камері становив Р ел.~1 0 -9 Тор, а електронний струм на мішені І ел. =1,5 мА.Техніка експерименту в обох випадках однакова: свічення, яке виникає на повер-хні зразка в результаті бомбардування іо-нами і електронами, фокусується лінзою на вхідну щілину монохроматора (на установці "Карпати" використовувався монохроматор МДР-2, а на "Надвисокова-куумному електрон-фотонному спектро-метрі" -монохроматор МДР-12), де виді-лене випромінювання детектується фото-електронним помножувачем ФЕУ-106. Сигнал з ФЕУ-106 після підсилення ре-єструється в режимі відліку фотоелектро-нів частотоміром або за допомогою елек-тронного потенціометра КСП-4 запису-ється спектр випромінювання.Спектри іон-і електрон-фотонної емісії з поверхні кремнію представлені на рис.1, 2.Рис.1. Спектр іон-фотонної емісії кремнію (E іон. =15 кеВ, I іон. =300 мкА)