Пленки Pt с толщиной h = 20−100 nm, нанесенные на окисленную пластину c-Si (100), подвергались отжигу в вакууме в режиме 500• C/1 h, в результате которого произошли рекристаллизация и рост зерен. Одновременно с нормальным наблюдался и аномальный рост, что привело к разделению зерен на фракции, соответственно, обычных и вторичных зерен. Для h = 20−40 nm вторичные зерна становятся заметно крупнее обычных, поэтому распределение латеральных размеров зерен становится бимодальным. Найдено, что скорость аномального роста латеральных размеров зерен увеличивается с уменьшением h, тогда как скорость нормального роста не зависит от h. С помощью анализа профилей рентгенодифракционных максимумов Pt(111) и Pt(222) найдено, что в результате отжига средний размер областей когерентного рассеяния D увеличивается. Для пленок, подвергнутых отжигу, D сублинейно увеличивается с ростом h, тогда как для исходных пленок наблюдается линейный рост D.

10-40 nm Ti films with mixed crystalline texture (100)+(001) are exposed to ion bombardment in inductively coupled Ar plasma by applying the bias -30 V to the films. It is found that such a treatment leads to the formation of (100) texture in films. This result is explained by the generation of the compressive stress in films as a result of ion bombardment. The thinner the film the less time is required to form the (100) texture.

Textured Pt films with thickness h=20-80 nm were sputter deposited on oxidized c-Si (100) wafers and annealed in vacuum at 500°C/60 min. The thickness dependencies of the crystalline texture parameters and of the fraction of crystalline phase δ are obtained for as-deposited and annealed films using X-ray diffraction. The determination of δ in textured films is carried out by the new method based on rocking curve analysis. It is found that annealing leads to the texture improvement and to the increasing of δ for all h. The less h, the stronger effects of texture improvement and of δ increasing. These results are explained by the annealing-induced formation of large secondary grains whose volume fraction increases as h decreases. The inhomogeneity of the depth distributions of texture parameters and of δ are investigated for the as-deposited Pt films.