Исследован атомный состав монослоев на основе силоксанового димера кватертиофена, нанесенных методом Ленгмюра-Блоджетт на поверхность диоксида кремния, частично покрытую пленкой золота, и стабильность этих монослоев при обработке поверхности путем бомбардировки ионами Ar+. Экспериментальные результаты по химическому составу серии исследованных поверхностей получены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) путем регистрации XPS-спектров C1s, O1s, S2p и Au4f остовных уровней. Относительная концентрация атомов Au, Si и атомов подложки в составе приготовленной ex situ исследованной поверхности была определена в пределах 10-15%, что говорит о том, что монослои Ленгмюра-Блоджетт на основе силоксанового димера кватертиофена формируют в значительной степени сплошное покрытие. До проведения обработки исследованной поверхности путем бомбардировки ионами Ar+, углерод- и кислород-содержащие поверхностные адсорбаты вносили существенный вклад в результаты XPS измерений. Очистка поверхности ионами Ar+ с энергией 3 keV при значениях электрического тока через образец ~ 1 muA в несколько этапов по 30 s привела к стравливанию поверхностных адсорбатов, а затем и самих пленнок Ленгмюр-Блоджетт пленок силоксанового димера кватертиофена. Исследования по фотоэлектронной спектроскопии выполнены при финансовой поддержке РФФИ (16-33-50252-мол-нр, 15-29-05786). Исследования по нанесению монослоев Ленгмюра-Блоджетт и их характеризации выполнены за счет гранта Российского научного фонда (проект N 15-12-30031). В работе использовали оборудование научного парка СПбГУ "Физические методы исследования поверхности". DOI: 10.21883/FTT.2017.12.45249.132