Comparative studies of recombination processes of laser-induced charge carriers in the picosecond range are performed in amorphous silicon films prepared by glow discharge technique, UHV evaporation, and sputtering. By means of time-resolved reflectivity and conductivity measurementa a two-step relaxation process is obtained, where the time of the fast recombination process decreases with increasing defect density. Some semiconductor parameters (recombination constant, capture cross-section, carrier mobility) are estimated using experimental results.Vergleichende Untersuchungen von Rekombinationsprozessen im Pikosekundenbereich bei laserinduzierter Ladungstragererzeugung werden an amorphen Siliziumschichten vorgenommen, die mit verschiedenen Verfahren (HF-Glimmentladung, UHV-Bedampfung, Zerstaubung) hergestellt werden. Mit Hilfe von zeitanfgelosten Reflexions-und Leitfahigkeitsmessungen wird ein Zwei-Stufen-RelaxationsprozeR registriert, wobei die schnelle Rekombinatiomzeit mit wachsender Defektdichte kiirzer wird. Unter Verwendung der experimentellen Ergebnisse werden einige Halbleiterparameter (Rekombinationsrate, Wirkungsquerschnitt, Beweglichkeit) abgeschatzt.