An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding of polysilicon using two-dimensional vertical workpiece vibration

Peng, Yunfeng; Wu, Yong Bo; Liang, Zhiqiang; Guo, Yin Biao; Lin, Xiao

doi:10.1007/s00170-010-2991-x

Cited by 40 publications

(8 citation statements)

References 9 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Each abrasive grit in ultrasonic vibration-assisted all conducts an elliptic-vibration cutting action and the intermittent engagement of the tool and work-piece is achieved, which results in the chip formation and tool-chip friction variation [10]. Furthermore, the elliptic ultrasonic vibration may introduce an additional acceleration to the cutting grits [11] and cause the high pressure phase transition of A356 Thus, the removal mechanism is changed.…”

Section: Discussionmentioning

confidence: 99%

An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding

Nassar

2012

2012 2nd International Conference on Advances in Computational Tools for Engineering Applications (ACTEA)

View full text Add to dashboard Cite

Two-dimensional ultrasonically assisted grinding technique is proposed to achieve a high material removal rate and high surface quality simultaneously. In this technique, the work-piece is attached on the ultrasonic vibrator produced by bonding a PZT device on a metal elastic body, and the elliptic vibration is generated by the simultaneous creation of the longitudinal and bending vibration of the vibrator. The grinding experiments are carried out and experimental results show that the surface quality is improved that anticipate your paper as one part of the entire proceedings, and not as an independent document. Please do not revise any of the current designations.

show abstract

Section: Discussionmentioning

confidence: 99%

An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding

Nassar

2012

2012 2nd International Conference on Advances in Computational Tools for Engineering Applications (ACTEA)

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…This method makes good processing accuracy but only can be used in processing a through hole. Ultrasonic assisted grinding technology was carried out by Peng et al [4][5][6]. Their experiments show good performance on obtaining high quality surface.…”

Section: Figure 1 Components and Operating Principle Of Dtgmentioning

confidence: 99%

Stable Grinding Micro-wall of Flexible Joints with Controllable Force

Ding

Wang

2016

MATEC Web Conf.

View full text Add to dashboard Cite

Abstract. The micro-wall between two adjacent pores on the flexible joint is the core structure affecting the performance of gyro. The thickness of the micro-wall is only about 30 m P and decreases to 20 m P after being machined. It is a low-stiffness structure easily affected by grinding force. Larger force can break the micro-wall. Hence, appropriate grinding force must be controlled to make balance between machining efficiency and surface quality. Besides, different thickness before being machined affects the machining stability as well. The present paper firstly introduces the developed machine tool used for grinding the micro-walled. With this machine tool, removal of the process can be measured as well. Detailed measuring theory and grinding processes are presented. The force can be adjusted and monitored in the microgrinding process. To achieve stable removal, the related thickness is analysed by experiments. With this machine tool, the process of machining-measuring micro-wall is efficient.

show abstract

“…Większość publikacji literaturowych dotyczących szlifowania wibracyjnego powierzchni płaskich obejmuje drgania wymuszone w zakresie częstotliwości ultradźwiękowych [6], [7], [9], [10], [11]. Natomiast pozycje literaturowe ze stosowanymi niskimi częstotliwościami -do 1kHz są nieliczne [3], [8], [12] i również wykazują pozytywne zalety prowadzenia tego procesu.…”

Section: Abstract: Modelling Vibratory Grindingunclassified

Simulation model for vibratory grinding of flat surfaces

Oryński

Synajewski

2015

Mechanik

View full text Add to dashboard Cite

W artykule zaprezentowano wyniki pracy modelu szlifowania wibracyjnego z wprowadzaniem oscylacji na przedmiot obrabiany. Przedstawiono wybór częstotliwości wprowadzanych do modelu poprzez wyznaczenie widmowej funkcji przejścia struktury szlifierki wykorzystując eksperymentalną analizę modalną. SŁOWA KLUCZOWE: modelowanie, szlifowanie wibracyjneModel results of vibratory grinding with workpiece stimulated into forced vibration were presented in the article. The selection of frequency values for forced vibration was performed by determination of the spectral transfer function FRF for the grinder using the experimental modal analysis method. KEYWORDS: modelling, vibratory grindingMetoda szlifowania wibracyjnego charakteryzuje się wprowadzeniem do kinematyki szlifowania konwencjonalnego dodatkowego ruchu oscylacyjnego o określonych parametrach na przedmiot obrabiany lub ściernicę [2]. Większość publikacji literaturowych dotyczących szlifowania wibracyjnego powierzchni płaskich obejmuje drgania wymuszone w zakresie częstotliwości ultradźwiękowych [6] [12] i również wykazują pozytywne zalety prowadzenia tego procesu. Dlatego warunki szlifowania nie wymagające zastosowania głowic ultradźwiękowych warte są rozpoznania. Zasada polepszania powierzchni po szlifowaniu wibracyjnym nie jest do końca jasna i stąd potrzeba podjęcia nowych wysiłków ku lepszemu dopasowaniu analiz teoretycznych do badań doświadczalnych. W niniejszym opracowaniu przedstawiono część wyników otrzymanych przez autorów na podstawie symulacji własnego modelu szlifowania wibracyjnego z wyznaczonymi parametrami (opisanymi w [5]) rzeczywistego układu szlifierki do płaszczyzn typu SPC-20. Powiązanie dwóch modeli przedstawionych na rys. 1 umożliwia przeanalizowanie wpływu zmiennych dynamicznych szlifowania wspomaganego drganiami na otrzymaną chropowatość powierzchni przedmiotu obrobionego. Nastawnymi parametrami wejściowymi dynamicznego modelu fizycznego są amplituda F i częstotliwość f siły wymuszającej zewnętrzne drgania przedmiotu szlifowanego Fw2. Wielkościami wyjściowymi tego modelu i jednocześnie wejściowymi parametrami drgań do kinematycznego modelu chropowatości powierzchni obrobionej są: amplituda na biegu luzem Abl, amplituda podczas skrawania A i częstotli-wość f drgań ściernicy względem szlifowanej próbki mierzone w kierunku równoległym do osi ściernicy.Rys. 1. Przedstawienie zmiennych wejściowych i wyjściowych parametrów dwóch modeli proponowanych w badaniach symulacyjnych Na podstawie modelu kinematycznego otrzymuje się wartości parametrów chropowatości Ra i Rz powierzchni obrobionej po szlifowaniu. Dynamiczny model fizycznyRzeczywistym obiektem badań jest szlifierka do płasz-czyzn typu SPC-20. Ten układ ma bardzo dużą liczbę punktów materialnych i w związku z tym jeszcze większą liczbę *prof. dr hab. inż. Franciszek Oryński (franciszek.orynski@p.lodz.pl), dr inż. Robert Synajewski (robert.synajewski@p.lodz.pl)

show abstract

An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding of polysilicon using two-dimensional vertical workpiece vibration

Cited by 40 publications

References 9 publications

An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding

An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding

Stable Grinding Micro-wall of Flexible Joints with Controllable Force

Simulation model for vibratory grinding of flat surfaces

Contact Info

Product

Resources

About