2017 ІМÔ (Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН Óкраїни) Надруковано в Óкраїні. Ôотокопіювання дозволено тільки відповідно до ліцензії 262 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др. diagnostics of a profile of the inhomogeneous distribution of microdefects in single crystals. In particular, for the first time, the distribution profile for microdefects (precipitates and dislocation loops without restrictions on their sizes) over a depth of dynamically scattering layer of a single crystal is obtained. A principal possibility of kinetics determination is shown, and the kinetics of changing of such layer complex structure after high-energy electron processing is actually determined. Ключевые слова: рентгеновские лучи, полная интегральная интенсивность, динамическая дифракция, нарушенный поверхностный слой, крупные дефекты, асимметрия азимутальной зависимости. Ключові слова: Рентґенові промені, повна інтеґральна інтенсивність, динамічна дифракція, порушений поверхневий шар, великі дефекти, асиметрія азимутальної залежности.