2005
DOI: 10.1016/j.elecom.2005.06.018
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Concentration mapping around copper microelectrodes studied by scanning electrochemical microscopy

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“…[240] SECM kann auch vorteilhaft eingesetzt werden, um simulierte Korrosionsprozesse bei der Fertigung von integrierten Schaltkreisen zu verfolgen. [241] Die Bildung lokal unterschiedlicher Passivschichten wurde auf polykristallinen Ti/TiO 2 -Elektroden [227] -Reduktion mit einzelnen Kristalliten, die durch optische Mikroskopie zugänglich sind, über-einstimmen. [242] Weitere Untersuchungsmöglichkeiten zur Aufklärung lokaler Korrosionsphänomene zeichnen sich durch Impedanzmessungen an der UME ab.…”
Section: Verfolgen Der Aktiven Korrosion Und Der Passivierungunclassified
“…[240] SECM kann auch vorteilhaft eingesetzt werden, um simulierte Korrosionsprozesse bei der Fertigung von integrierten Schaltkreisen zu verfolgen. [241] Die Bildung lokal unterschiedlicher Passivschichten wurde auf polykristallinen Ti/TiO 2 -Elektroden [227] -Reduktion mit einzelnen Kristalliten, die durch optische Mikroskopie zugänglich sind, über-einstimmen. [242] Weitere Untersuchungsmöglichkeiten zur Aufklärung lokaler Korrosionsphänomene zeichnen sich durch Impedanzmessungen an der UME ab.…”
Section: Verfolgen Der Aktiven Korrosion Und Der Passivierungunclassified
“…The dissolution of Cu 2+ ions from a Cu bi-microelectrode as a model for an integrated circuit was investigated in oxalic acid solution in FB mode and GC mode [217]. While the GC mode has shown an enhanced Cu 2+ concentration above the anodically polarized Cu microelectrode only because of Cu dissolution (Figure 28a), FB mode images with [Fe(CN) 6 ] 4-as redox mediator evidenced a homogeneous electroactivity at both microelectrodes as well as at the area between them.…”
Section: +mentioning
confidence: 99%
“…Different methods for local electrochemical measurements have been developed during the last decades, distinguishing between scanning techniques such as the scanning electrochemical microscope [15,16] and techniques such as the electrochemical microcell [17,18] where only a small local area is delimitated and in direct contact with the electrolyte. Studies of local corrosion on heterogeneous metal surfaces have been successfully carried out with the electrochemical microcell as this technique allows to delimitate local areas of the samples without affecting the whole surface [19][20][21][22][23].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%