Cross sectional complex structure analysis is a key issue of thin film research: A case study on the preferential orientation crossover in TiN thin films

Visszapillantás a transzmissziós elektronmikroszkópia (TEM) módszerek ásványtani és földtani alkalmazásának hazai történetére (1970–2020)

“…A szöveti, orientációs és fáziseloszlás-térképezés a nanométeres tartományban is rutineljárássá vált (RAUCH et al 2010). Az orientációs térképezés eszközeit és programcsomagját (NanoMegas ASTAR) az akkori Bay-Nano (Miskolc) intézetben beszereztük és eredményesen kezdtük használni (RONTÓ et al 2013;BIRÓ et al 2014;BARNA et al 2019), de az alapítványok közös sorsa (2010-et követően az alapítványok zöme megszűnt/átalakult) véget vetett az ASTAR hazai alkalmazásának. TEM-ben a lokális feszültség és deformáció is szub-A°fölbontással vizsgálható (l. például GALINDO et al 2007;WANG et al 2015).…”