Deposição de filmes finos de nitreto de titânio em plasma com efeito de comprimento de catodo oco em gaiola catódica

Abstract

RESUMO A utilização de gaiola catódica se apresenta com um grande potencial de deposição de filmes finos e espessos, seja em substrato de vidro ou em peças metálicas. São inúmeras as possibilidades dessa técnica. Neste trabalho, a descarga de plasma em gaiola catódica foi usada para deposição de filmes de nitreto de titânio em substrato de vidro. O objetivo foi o de comparar as propriedades dos filmes depositados com uso de duas gaiolas com tampas de espessuras diferentes. Para caracterização dos filmes foram feitas análises por difração de raios X, medidas de espessura por reflectometria, medidas de resistividade elétrica, transmitância e imagens das superfícies por microscopia eletrônica de varredura e análise da composição por EDS. A reflectometria mostrou que a taxa de deposição e a rugosidade dos filmes aumentaram com a utilização de tampa de maior espessura (10 mm). O filme depositado na atmosfera de 155 sccm de N2 , 95 sccm de H2 e pressão de 0,5 Torr apresentou baixa transmitância na região do vermelho e infravermelho próximo, tornando-o um candidato para ser utilizado como filtro de infravermelho.

Estudo morfológico e eletroquímico do efeito de corrosão de eletrólito baseado em fertilizantes do tipo cloreto de potássio e ureia sobre substratos de aço estruturais SAE 1020 recobertos com filmes de dióxido de titânio crescidos via sputtering em gaiola catódica dupla

“…O aspecto visual do plasma pode ser observado na Figura 3, onde os elementos inseridos, como a sobre tampa de malhas com geometria complexa e tramas internas nos tubos laterais, acarretaram em diversos cátodos ocos, sem padrão definido ao longo do tempo em sua posição geométrica na gaiola. Isto demonstra que o efeito de cátodo oco é recorrente em diversos modelos de geometria, alcançando uma maior produção de íons e espécies ativas na gaiola, tendo assim o sputtering intensificado [9][10][11]. As amostras após o tratamento com crescimento de filme de dióxido de titânio (TiO 2 ) apresentam uma coloração superficial variando do centro para a periferia em tons dourados e variações de tons visíveis de efeitos de borda, já para a lâmina de vidro é quase imperceptível a olho nu o filme depositado, conforme figura 4.…”

“…As análises por MEV são utilizadas para caracterização morfológica de superfícies, enquanto as análises de EDS são utilizadas para microanálise qualitativa e semiquantitativa de elementos químicos presentes na amostra. As análises foram realizadas com o uso MEV CARL ZEISS EVO MA10 (Oberkochen, Alemanha) e metalização por sputtering das amostras de vidro com película de ouro com o uso do Sputter Q150R ES da Quorum Technologies (East Sussex, Inglaterra) [9].…”

Investigation of FeN and TiN thin films properties for possible application in electronic devices

“…It is evident the formation of a layer with small grains on the surface of the substrate. It is possible to treat nitrides formed by the interaction of the cage with the ionized nitrogen 15 . It is also possible to observe a uniform coverage formed by particles with random distribution.…”

Caracterização Microestrutural E Perfil De Microdureza De Aço Api 5l X80 Obtido Por Processo TMCR

“…O emprego do titânio comercialmente puro e suas ligas como biomateriais estão associadas às suas propriedades atóxicas, biocompatibilidade, osseointegração, resistência à corrosão em fluídos corpóreos, elevada razão resistência mecânica/densidade e baixo módulo de elasticidade (Kuroda; Nascimento; Grandini, 2020) Em algumas situações, a coloração do titânio é necessária, como por exemplo para identificar as peças com pequenas variações dimensionais. É possível obter diferentes cores do óxido de titânio com emprego de diferentes metodologias, destacando-se a deposição catódica (Takikawa A. et al, 1999;Silva et al, 2017;Ke et al, 2019;Liu et al, 2019), a deposição de plasma (Teng K.S. et al, 1998;Boudot et al, 2017), a deposição de laser (Garapon C. et al, 1996), a pulverização catódica (Lee J.H.…”