Determination of a Thickness of Layers of Multilayer Periodic Coatings by a Method of the Rutherford Backscattering

Abstract

Методом резерфордовского обратного рассеяния были определены толщины слоёв кобальта и углерода в многослойном периодическом покрытии [Со/С] 10 , изготовленном методом магнетронного распыления. Полученные результаты хорошо согласуются (расхождение менее 6%) с толщинами слоёв из моделирования измеренного спектра малоугловой рентгеновской дифракции покрытия. Ключевые слова: многослойное периодическое покрытие, резерфордовское обратное рассеяние, малоугловая рентгеновская дифракция. Методою Резерфордового зворотнього розсіяння було визначено товщини шарів кобальту та вуглецю у багатошаровому періодичному покритті

Construction of X-Ray Optics Elements with a Proton-Beam Lithography

“…Товщина шарів вимірювалася методою Резерфордового зворотнього розсіювання (РЗР). Детально цю методику вимірювання товщини тонкоплівкових зразків описано в роботі [10]. Матеріял металевої плівки (мідь) був обраний, виходячи з міркувань високого значення провідности, що є вагомим при проведенні ґальванічного осадження.…”

Исследование Многослойных Тонкопленочных Структур Методом Резерфордовского Обратного Рассеяния

“…К недостаткам метода можно отнести невысокое послойное разрешение (5−15 nm) и трудности, возникающие при анализе структур с близкими по массе элементами. Но имеющиеся возможности моделирования экспериментальных спектров позволяют получать надежную информацию при послойном анализе многослойных тонкопленочных структур нанометрового масштаба, содержащих элементы с близкими массами [3,4].…”