Dispersion (Phase) Nature of Structural Sensitivity and Informativity of Triple-Crystal Diffractometry of Defects and Strains within the Ion-Implanted Films

Abstract

З використанням раніше відкритого авторами явища дисперсійної (фазової) структурної чутливости картини багаторазового розсіяння створено теоретичні й експериментальні основи трикристальної динамічної дифрактометрії багатошарових кристалічних систем з неоднорідно розподіленими мікродефектами та макродеформацією. Враховано динамічний характер когерентного і дифузного розсіяння від дефектів у всіх шарах системи, а також багаторазовість розсіяння між шарами. С использованием ранее открытого авторами явления дисперсионной (фазовой) структурной чувствительности картины многократного рассеяния созданы теоретические и экспериментальные основы трёхкристальной динамической дифрактометрии многослойных кристаллических систем с неоднородно распределёнными микродефектами и макродеформацией. Учтены динамический характер когерентного и диффузного рассеяния от дефектов во всех слоях системы, а также многократность рассеяния между слоями. With using the previously discovered by authors phenomenon of dispersion (phase) structural sensitivity of multiple-scattering patterns, the theoretical and experimental bases of the triple-crystal dynamical diffractometry of multilayer crystalline systems with inhomogeneous strain and randomly distributed defects are created. The dynamical character of both coherent and diffuse scattering from defects in all the layers of the system as well as the multiple scattering between layers are taken into account.

Quantum-Mechanical Model of Interconsistent Amplitude and Dispersion Influences of Structure Imperfections on the Multiple Scattering Pattern for Mapping and Characterization of Strains and Defects in Ion-Implanted Garnet Films

“…The purpose of this work is demonstration of diagnostic possibilities offered by the theoretical method for interpretation of results of highresolution X-ray diffraction mapping of the real film and multilayer systems with defects [4]. This method of structural diagnostics will be applied to the simulation of the influence of nanometre-size defects and inhomogeneous strain distributions in the epitaxial YIG films grown on GGG substrate, which were implanted with 90 keV F  ions, on the form of the coherent and diffuse components of diffraction intensity distributions on reciprocal-lattice maps measured by TCD.…”