2009
DOI: 10.1016/j.optlastec.2008.03.010
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Effects of deposition temperature on the structural and morphological properties of SnO2 films fabricated by pulsed laser deposition

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“…[112] Dies könnte mit unterschiedlichen Bedingungen bei den einzelnen Studien zusammenhängen, weil die Wachstumsdynamik der durch PLD hergestellten Filme kompliziert ist und stark vom Wachstums-(Abbildung 13) und dem Nachtemperschritt abhängt. [123] Durch PLD lassen sich bei einem kontrollierten Sauerstoffdruck und mäßigen Substrattemperaturen (z. B.…”
Section: Laserstrahlverdampfenunclassified
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“…[112] Dies könnte mit unterschiedlichen Bedingungen bei den einzelnen Studien zusammenhängen, weil die Wachstumsdynamik der durch PLD hergestellten Filme kompliziert ist und stark vom Wachstums-(Abbildung 13) und dem Nachtemperschritt abhängt. [123] Durch PLD lassen sich bei einem kontrollierten Sauerstoffdruck und mäßigen Substrattemperaturen (z. B.…”
Section: Laserstrahlverdampfenunclassified
“…[89] Mit einer von 300 auf 400 8C erhöhten Abscheidungstemperatur wird die Kristallgröße mehr als verdoppelt. [123] Die Abscheidung kann auch bei Raumtemperatur erfolgen, ergibt dann aber hauptsächlich eine amorphe Phase, während oberhalb von 150 8C (z. B.…”
Section: Laserstrahlverdampfenunclassified
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