Parameter changes of metal-oxide-semiconductor (MOS) structures under ionizing radiation are caused by the buildup of a positive charge in the oxide which value and topology depend in a complex way on the applied voltage. A proposed simple model and calculation method for the potential distribution in MOS-structure, with arbitrary value and polarity of the applied voltage and based on the solution of the Poisson and kinetic equations system with account of boundary conditions changing with the applied voltage, allow to determine the topology and value of the buildup charge and the resulting shift of the MOScharacteristics in good agreement with experiments.
Parameteranderungen von Metall-Oxid-Halbleiter(M0S)-Strukturen bei ionisierenderBestrahlung werden durch den Aufbau von positiven Ladungen in dem Oxid verursacht, deren GroBe und Topologie in komplizierter Weise von der angelegten Spannung abhangen. Ein vorgeschlagenes einfaches Model1 und eine Berechnungsmethode fur die Potentialverteilung in den MOS-Strukturen bei beliebiger GroDe und Polaritat der angelegten Spannung, die auf der Losung des Systems der Poisson-und kinetischen Gleichungen basiert, unter Berucksichtigung der mit der angelegten Spannung sich andernden Grenzbedingungen, erlaubt es, die Topologie und die GroBe der aufgebauten Ladung und der resdtierenden Verschiebung der MOS-Charakteristiken zu bestimmen in guter Ubereinstimmung mit dem Experiment.