Dislocations in as-grown and in plastically deformed V,Si single crystals have been studied by chemical etching. I n as-grown crystals dislocations are partly arranged in small-angle boundaries parallel to { 001 }, { 01 1 }, and { 11 2 ) planes. The total dislocation density amounted to (105 -106)After plastic deformation a t elevated temperatures indications for slip and climb processes were observed. The dislocation density increased to lo7 em-2.Die Anordnung von Versetzungen wurde in unverformten und verformten V,Si-Einkristallen mit der Atzmet,hode untersucht. I n unverformten Kristallen treten Kleinwinkelkorngrenzen parallel zu { 001 } -, { 01 1 } -und { 11 2 ) -Ebenen auf. Die Gesamtversetzungsdichte betragt (105 -lo6) Nach plastischer Verformung bei hohen Temperaturen wurden Anzeichen fur Gleit-und Kletterprozesse beobachtet. Die Versetzungsdichte stieg auf 107 em-2.