2003
DOI: 10.1021/la034748h
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Electroless Deposition of Cu on Glass and Patterning with Microcontact Printing

Abstract: Electroless-depositing a metal from solution to a substrate and patterning it using microcontact printing is an alternative to the conventional patterning of vacuum-deposited metals using photolithography. Here, we pattern Cu onto 15 × 15 sq-inch glass substrates by (i) self-assembly of a thin layer of amino-derivatized silanes to the glass, (ii) binding Pd/Sn catalytic particles to the silanes, (iii) electroless deposition of ∼120 nm of Cu on the catalytic surface, (iv) microcontact printing hexadecanethiol o… Show more

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“…[272] Reihe von Veröffentlichungen beschrieben Delamarche et al ein Verfahren zur Erzeugung von NiB-Strukturen und Metallnanodrähten auf Glassubstraten. [273][274][275][276][277] Die Nanoimprint-Lithographie (NIL) [278] wurde als wirksame Alternative zum mCP von Organosilanen vorgeschlagen. [279] Eine durch NIL erhaltene PMMA-Polymerschablone steuert die Anordnung der SAM aus der Gasphase auf einer unbedeckten Substratfläche und verhindert die Bildung einer SAM auf dem bereits bedeckten Gebiet.…”
Section: Weiche Lithographieunclassified
“…[272] Reihe von Veröffentlichungen beschrieben Delamarche et al ein Verfahren zur Erzeugung von NiB-Strukturen und Metallnanodrähten auf Glassubstraten. [273][274][275][276][277] Die Nanoimprint-Lithographie (NIL) [278] wurde als wirksame Alternative zum mCP von Organosilanen vorgeschlagen. [279] Eine durch NIL erhaltene PMMA-Polymerschablone steuert die Anordnung der SAM aus der Gasphase auf einer unbedeckten Substratfläche und verhindert die Bildung einer SAM auf dem bereits bedeckten Gebiet.…”
Section: Weiche Lithographieunclassified
“…Through altering the bath conditions the deposition rate can vary between a few nanometres to a few hundred microns an hour. The versatility of electro-less deposition has allowed a number of porous substrates to be efficiently plated including polymer surfaces [90][91][92][93] , carbon fibres 94 , metal surfaces and particles 34,95 , carbon nanotube surfaces 96 , glass 97,98 or porous ceramics (silica, alumina, titania) 35,[99][100][101][102] . Gold and metal nanotube membranes have been fabricated through this approach and used for electrode fabrication 103 , molecular separation 100,104 , lithography, 105 and sensing 13,106 .…”
Section: Electroless Depositionmentioning
confidence: 99%
“…It is an autocatalytic redox process in which metal cations in solution are chemically reduced and deposited on the surface. [47][48][49][50][51][52][53][54][55][56] Recently, another form of electroless deposition (self-assembly of colloidal metal particles), has also generated interest for the fabrication of metal films and nanostructures. 57,58 This approach has been used to generate thin films of gold, platinum, and silver on different substrates.…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%