Embedded Component Packaging for Wafer-Level Encapsulated and Integrated RF Mems

Hadizadeh, Rameen; Laitinen, Anssi; Molinero, David; Cunningham, Shawn; Vockerberger, Christian; Weis, Gerald

doi:10.1109/transducers.2019.8808808

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“…En el caso de los actuadores, existen de diversos tipos: piezoeléctricos [9], electromagnéticos [10], fluidomecánicos [11] o electrostáticos [12]. Dentro de los transductores y sensores, existen de deformación [13] , químicos [14], ópticos [15], capacitivos [16], piezoeléctricos [17] o electromagnéticos [18].…”

Section: Motivaciónunclassified

Desarrollo de una máquina bobinadora semiautomática para la microfabricación de bobinados, antenas y solenoides micrométricos

2022

Congreso Iberoamericano De Ingeniería Mecánica-Cibim 2022

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ResumenLos MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) tienen multitud de aplicaciones en campos de ciencia e ingeniería tan variados como la robótica, biomedicina, electrónica o espacio y comunicaciones. Muchos de estos dispositivos emplean antenas, capaces de recibir y emitir señales de radiofrecuencia, y bobinados o solenoides, capaces de interactuar con otras fuentes de campo electromagnético de tamaños micrométricos. Los métodos de fabricación usuales de estos microcomponentes tienen limitaciones que afectan al desempeño de la máquina de la que forman parte. En este artículo, se propone un nuevo sistema semiautomático que permite fabricar solenoides y microantenas por bobinado de cable de cobre en tamaños micrométricos. Asimismo, se describe el sistema completo, su modo de operación y métodos propuestos para la fabricación. Por último, se muestran resultados de fabricación y la caracterización de los microcomponentes logrados. Estos componentes son antenas cilíndricas helicoidales flexibles de 6.1mm de largo y 352 µm de diámetro, e inductores de hasta 5 capas, con una longitud de 680 µm, y un diámetro total de 300 µm.

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