Energy flux to the substrate in a magnetron discharge with hollow cathode

Emission Spectrum of a Discharge in Hollow Cathode Magnetron

“…Н.Э. Баумана (Мытищинский филиал) создан источник высокоплотной плазмы на основе магнетрона с полым катодом [1][2][3]. Особенностью этого разряда является высокая концентрация плазмы (более 10 11 см -3 при давлении 1…10 мТорр), создаваемая в большом объеме, низкая (10…25 эВ) и легко изменяемая энергия ионов, приходящих на подложку.…”