CdTe was evaporated on to (111) surfaces of Xi in an oil-pumped vacuum systcm in pressures in the Torr range. Reproducible epitaxial growth was obtained at all substrate temperatures in the range from 400 to 520 O C . Above this temperature no film could be deposited. The films had the wurtzite structure and the epitaxial orientation relationship was (0001) CdTe parallel to (111) Si with [llZO] CdTe parallel to [I101 Si. The films grown at temperatures in the range from 400 to 500 "C gave transmission electron diffraction patterns that were free of both satellite spots and streaks. This indicated that these films were free both of three-dimensional defects such as twirls and included grains of second phase material and of high densities of planar defects such a s stacking faults. The films grown a t temperatures above 500 "C gave diffraction patterns containing (lOi0) streaks due to faults on the prismatic planes { lOI0).Auf (111)-Oberflgchen von Si wurde in einem Olpumpen-Vakuumsystem bei Driicken im lo-' Tom-Bereich CdTe aufgedampft. Reproduzierbares Epitaxiewachstum wurde bei allen Substrattemperaturen im Bereich von 400 bis 520 "C erhalten. Oberhalb dieser Temperatur konnte keine Schicht aufgebracht werden. Die Schichten hatten Wurtzit-Struktur nnd die Epitaxie-Richtung war (0001) CdTe parallel zu (111) Si mit [llZO] CdTe parallel zu [ l i O ] Si. Schichten, die bei Temperaturen zwischen 400 und 500 "C gewachsen waren, ergaben Transmissions-Elektronenbeugungsdiagramme, die frei von Satellitenpunkten nnd -streifen waren. Dies zeigt, daB diese Schichten sowohl frei sind von drcidimensionalen Storungen, wie Zwillingsgrenzen und EinschluBgrenzen einer zweiten Phase, als auch von ebenen Defekten hoher Dichte, wie Stapelfehlern. Schichten, die oberhalb 500 "C gewachsen waren, ergaben Beugungediagramme mit (lOiO)-Streifen, hervorgerufen durch Stapelfehler auE den { lOI0}-PriamenfIachen,