Erweiterter Einsatz von Turbomolekular Vakuumpumpen durch Beschichtungen

Abstract

Turbomolekular‐Pumpen (TMP) können in einem weiten Druckspektrum zur Förderung der meisten Gase in vielfältiger Applikation eingesetzt werden. Einschränkungen ergeben sich im Wesentlichen durch die thermische und chemische Belastbarkeit insbesondere des mechanisch hochbeanspruchten Pumprotors. Möglichkeiten und Grenzen, die Einsetzbarkeit durch funktionale Schichten zu erweitern, werden in diesem Beitrag behandelt.