2003
DOI: 10.1109/jmems.2003.817894
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Force-controllable, optically driven micromachines fabricated by single-step two-photon microstereolithography

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
3
1
1

Citation Types

1
83
0
6

Year Published

2010
2010
2017
2017

Publication Types

Select...
5
4
1

Relationship

0
10

Authors

Journals

citations
Cited by 150 publications
(90 citation statements)
references
References 28 publications
1
83
0
6
Order By: Relevance
“…[3] Esta técnica de microfabricação tem se destacado no meio científico devido a sua capacidade de produzir microestruturas tridimensionais de alta complexidade e variedade de formas, permitindo até mesmo a confecção de estruturas contendo partes móveis. [4,5] A FA2F consiste em focalizar um feixe pulsado de femtossegundos no volume de uma resina polimérica contendo um fotoiniciador, composto orgânico responsável por desencadear a reação de polimerização quando excitado via absorção de dois fótons. [6] Diferente do que ocorre no processo de absorção linear, a taxa na qual a absorção de dois fótons ocorreé proporcionalà intensidade da radiação ao quadrado.…”
Section: Aplicaçãounclassified
“…[3] Esta técnica de microfabricação tem se destacado no meio científico devido a sua capacidade de produzir microestruturas tridimensionais de alta complexidade e variedade de formas, permitindo até mesmo a confecção de estruturas contendo partes móveis. [4,5] A FA2F consiste em focalizar um feixe pulsado de femtossegundos no volume de uma resina polimérica contendo um fotoiniciador, composto orgânico responsável por desencadear a reação de polimerização quando excitado via absorção de dois fótons. [6] Diferente do que ocorre no processo de absorção linear, a taxa na qual a absorção de dois fótons ocorreé proporcionalà intensidade da radiação ao quadrado.…”
Section: Aplicaçãounclassified
“…After their works, various three-dimensional micro-sculptures such as Venus statues (Serbin et al, 2003), an opera house (Straub, 2004), jars (Park et al, 2005), and gears (Sun et al, 2004) have been demonstrated using this nonlinear lithographic technique. Functional devices such as full three-dimensional photonic crystals (Deubel et al, 2004), plasmonic elements (Reinhardt et al, 2006) and optically-driven microsystems (Maruo et al, 2003) were also reported. Femtosecond laser lithography is a truly three-dimensional process because of its capability of direct exposure of the internal volume, whereas conventional single-photon lithography is based on its planar nature.…”
Section: Femtosecond Laser Nonlinear Lithographymentioning
confidence: 99%
“…Nonlinear optical processes have been extensively used for manufacturing microdevices for different technological areas [1][2][3][4][5], with emphasis to two-photon polymerization (2PP). This technique has several advantages over conventional microfabrication methods, among which we can mention the resolution above the diffraction limit and high spatial selectivity of the two-photon absorption [6,7].…”
Section: Introductionmentioning
confidence: 99%