Formation of aluminum nitride on aluminum surfaces by ECR nitrogen plasmas

ANALISA PERMUKAAN MATERIAL ALUMINIUM PADUAN (AlSiCu) HASIL NITRIDASI ION

“…Pembentukan lapisan nitrida pada aluminium permukaan ada 2 jenis yaitu struktur kolom (columnar) dan struktur granular, struktur ini ditunjukkan pada Gambar 3. Struktur kolom (columnar) terjadi pada dasar permukaan akibat pelelehan yang disebabkan dari tumbukan dan senyawa ion nitrogen, sedangkan struktur granular terjadi pada permukaan selanjutnya yang terbentuk akibat kondensasi atom aluminium yang ter-sputter dan bersenyawa dengan ion nitrogen serta terkondensasi pada permukaan [9]. Pengujian mikrograf pada Gambar 1.a adalah untuk cuplikan sebelum dinitridasi sehingga yang terlihat hanya hasil preparasi (hasil pemolesan), sedangkan mikrograft pada Gambar 2.a adalah cuplikan setelah dinitridasi sehingga terlihat bekas pelelehan permukaan hasil nitridasi.…”

“…Lapisan nitrida aluminium akibat nitridasi ion [9]. kandungan oksigen dimungkinkan terjadi pembentukan senyawa aluminium oksida (Al2O3) pada permukaan saat proses preparasi karena senyawa ini dapat terjadi pada suhu ruangan.…”

“…Terlarutnya atom-atom nitrogen dalam atom cuplikan yang dimungkinkan membentuk senyawa aluminium nitrida (AlN) tersebut akan memberikan kontribusi pada peningkatan kekerasan permukaan cuplikan AlSiCu. Pembentukan lapisan keras ini adalah lapisan nitrida dengan struktur kolom (columnar) [9]. Kondisi kekerasan optimum dari permukaan cuplikan yang dicapai pada waktu nitridasi selama 3 jam tersebut, kemungkinan besar batas kelarutan atom-atom nitrogen pada cuplikan telah terpenuhi (kondisi jenuh).…”

“…Atom-atom cuplikan yang terlepas (sputtered) tersebut akan bereaksi dengan ion-ion nitrogen yang datang dan membentuk senyawa AlN dan selanjutnya menempel pada permukaan cuplikan (adsorption). Pembentukan lapisan keras ini adalah lapisan nitrida dengan struktur granular [9]. Terbentuknya senyawa AlN tersebut juga akan memberi kontribusi pada peningkatan kekerasan permukaan cuplikan yang dinitridasi.…”

Second Lakhtin memorial lecture

“…Plasma nitriding of aluminum alloys has been studied intensely from the mid-1980s [18][19][20][21][22][23]. The studies have shown that these alloys can be successfully nitrided in plasma.…”