“…[7] Die Bestimmung der Schichtdicke dünner Filme erfolgt durch Ellipsometrie, eine hierfür übliche optische Technik. [7,20] Detaillierte Informationen zur Zusammensetzung von SAMs können durch Röntgenphoto-elektronenspektroskopie (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS) erhalten werden, [21] bei der die kinetische Energie eines inneren Elektrons oder Valenzelektrons, das durch ein einfallendes Photon mit bekannter Energie hn herausgeschleudert wird, detektiert wird. Eine alternative Technik, um die Zusammensetzung einer Monoschicht zu bestimmen, ist die Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS): [22,23] Hierbei wird die SAM mit einem Strahl hochenergetischer "Primär-partikel" (Ionen) bombardiert, und die emittierten, ionisierten "Sekundärpartikel" werden analysiert.…”