Представлены результаты структурных и магнитных исследований наногранулированных пленок Co−Al 2 O 3 , формирующихся из тонкопленочных слоистых Co 3 O 4 /Al структур в процессе вакуумного отжига. Пленки Co3O4/Al получены последовательным реактивным магнетронным распылением мишени металлического кобальта в среде, состоящей из смеси газов Ar + O 2 и магнетронным распылением алюминиевой мишени в среде чистого аргона. Показано, что такой подход позволяет получать тонкие однослойные и многослойные наногранулированные пленки Co−Al 2 O 3 с хорошо контролируемым размером магнитных гранул и их распределением по толщине пленки. Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 16-03-00069. Исследование выполнено при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований, Правительства Красноярского края, Красноярского краевого фонда науки в рамках научного проекта: " Исследование коэффициента теплопроводности и структурных особенностей в тонких наноструктурированных оксидных пленках, перспективных для термоэлектрического применения".