Durch die Umsetzung trivalenter Phosphorfluoride, RnPF3−n (n = 1, 2; R = R2N, (CH2)5N, O(CH2)4N, RO, (CH2O)2, Alkyl, Aryl) mit Phenylaziden, XC6H4N3 (X = H, 4‐CH3, 4‐Cl, 4‐Br, 4‐NO2, 3‐NO2), wurden 35 Tetrafluoro‐ und 2‐Difluorodiazadiphosphetidine sowie 4 Difluoro‐ und 30 Monofluoro‐α5‐monophosphazene dargestellt. PF3 reagiert nicht mit Phenylazid. Der Einfluß der Substituenten auf die Konstitution der Reaktionsprodukte wird diskutiert. Kinetische Messungen ermöglichten die Bestimmung der Substituentenkonstanten σPI für (CH2)5N, O(CH2)4N und R(C6H5)N (R = CH3, C2H5, n‐C4H9).