Investigation of the thermo stability of aluminum thin-film filters with protective MoSi<sub>2</sub> cap layers

Чхало, Н. И.; Дроздов, М. Н.; Gusev, S. A.; Lopatin, A. Ya.; Luchin, V. I.; Salashchenko, N. N.; Tatarskiy, D. A.; Tsybin, N. N.; Zuev, S. Yu.

doi:10.1364/ao.58.000021

Cited by 10 publications

(10 citation statements)

References 19 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Нагрев пленок проводился в вакууме (остаточное давление ∼ 10 −8 Torr, откачка во время отжига осуществлялась геттерно-ионным насосом НМД-0.4) путем пропускания тока через свободновисящую пленку на стенде [26], позволяющем осуществлять многочасовой отжиг при постоянной выделяемой в пленке мощности. Бериллийсодержащие пленки высаживались на кварце-вые рамки, на которых предварительно были нанесены контактные площадки.…”

Section: методы исследованияunclassified

“…Измерение температуры пленки в центре отверстия проводилось с помощью инфракрасного пирометра Metis MB35 (рабочий диапазон длин волн 2−5 µm) через окно из CaF 2 . Показания ИК-пирометра зависят от установленного значения излучательной способности ε. Определение значения ε для сравнительно толстых пленочных образцов при температурах 130−150 • C проводилось по методике, описанной в [22,26].…”

Section: методы исследованияunclassified

“…Отметим, что улучшить механические свойства свободновисящих пленок порой удается за счет использования тонких двухсторонних покрытий, что наблюдалось, например, в случае Al-пленочных структур при использовании двухсторонних MoSi 2 -защитных покрытий нанометровых толщин [26]. Попытка аналогичным способом повысить прочность Be-пленки не дала существенного результата (табл.…”

Section: предварительные испытания кратковременный отжигunclassified

See 2 more Smart Citations

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Зуев¹,

Лопатин²,

Лучин³

et al. 2022

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

We demonstrate the possibility of manufacturing Be-based ultrathin films with high transmission at wavelengths of 11.4 and 13.5 nm. For free-standing films of Be and Be-based multilayer structures (Si/Be, ZrSi2/Be, Be/BexNy, Zr/Be, Ru/Be, Mo/Be), we determine the thresholds of the absorbed power at which over a short period (tens of minutes) of vacuum annealing, initially sagging free-standing films became visibly stretched over the hole. Of the film structures tested here, the Be/BexNy structure (with beryllium nitride interlayers) showed the highest threshold for the absorbed power (1 W/cm2). However, due to the low strength of this structure, ZrSi2/Be, Mo/Be, and Be films seem to be more promising for the manufacture of a full-size pellicle. Long-term vacuum annealing of Mo/Be and Be ultrathin films showed that they could withstand 24 hours of vacuum heating at an absorbed power density of 0.2 W/cm2 (film temperature ~250°C) without noticeable changes in EUV transmission or sagging of films. With comparable transmission (~83% at 13.5 nm and ~88% at 11.4 nm), a multilayer Mo/Be structure with a thickness of 30 nm appears to be preferable, as it shows less brittleness than a monolayer Be film with a thickness of 50 nm.

show abstract

Section: методы исследованияunclassified

Section: предварительные испытания кратковременный отжигunclassified

See 1 more Smart Citation

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Зуев¹,

Лопатин²,

Лучин³

et al. 2022

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Температура пленки в центре отверстия измерялась с помощью инфракрасного пирометра Metis MB35. Показания пирометра зависят от установленного значения излучательной способности ε. Определение значения ε проводилось по методике, описанной в [7]. Для пленки MoSi 2 ε = 0.45, для пленки ZrSi 2 ε = 0.35, для пленки MoSi 2 N 0.9 ε = 0.25.…”

Section: методы исследованияunclassified

“…Отметим, что термически стойкие пленочные структуры востребованы не только в проекционной ЭУФ литографии и в исследованиях по разработке мощных источников МР и ЭУФ излучения. Термически стойкие абсорбционные фильтры необходимы в космических миссиях по изучению Солнца с близких к нему орбит [7].…”

Section: Introductionunclassified

Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi-=SUB=-2-=/SUB=-N-=SUB=-x-=/SUB=- и ZrSi-=SUB=-2-=/SUB=-N-=SUB=-y-=/SUB=-

Зуев¹,

Лопатин²,

Luchin³

et al. 2019

Журнал Технической Физики

View full text Add to dashboard Cite

The optical, mechanical, and thermal properties of freestanding films based on nitrided molybdenum and zirconium disilicides were investigated. It has been shown that nitriding of silicides leads to a significant increase in the thermal stability of the films. So, if crystallization of initially amorphous freestanding MoSi2 or ZrSi2 films is observed at temperatures of 330-370°C, the introduction of nitrogen into the film makes it possible to increase the temperature up to 600-700°С at which MoSi2Nx and ZrSi2Ny (at least for x ≥ 0.25, y ≥ 1.3) films can be used for many hours when heated under vacuum. The study of mechanical tensile strength showed that the ultimate strength is weakly dependent on the nitrogen content in MoSi2Nx films (0 ≤ x ≤ 0.55). Comparison of the properties of MoSi2Nx and ZrSi2Ny films obtained by the magnetron method at the same nitrogen partial pressure demonstrated that at similar values of the transmittance at 13.5 nm, nitrated ZrSi2 films are more effective as protective coatings (less susceptible to oxidation and more resistant to degradation at high temperatures).

show abstract

Measurements of the Thermophysical Characteristics of Thin-Film Metal Filters for Extreme-Ultraviolet Radiation

Lopatin,

Luchin,

Salashchenko

et al. 2023

J. Surf. Investig.

View full text Add to dashboard Cite

Investigation of the thermo stability of aluminum thin-film filters with protective MoSi₂ cap layers

Cited by 10 publications

References 19 publications

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Measurements of the Thermophysical Characteristics of Thin-Film Metal Filters for Extreme-Ultraviolet Radiation

Contact Info

Product

Resources

About

Investigation of the thermo stability of aluminum thin-film filters with protective MoSi2 cap layers

Cited by 10 publications

References 19 publications

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Сравнительное Исследование Термостойкости Пелликлов На Основе Бериллия

Measurements of the Thermophysical Characteristics of Thin-Film Metal Filters for Extreme-Ultraviolet Radiation

Contact Info

Product

Resources

About

Investigation of the thermo stability of aluminum thin-film filters with protective MoSi₂ cap layers