A model is presented to explain and to predict nucleation of crystalline, or amorphous metastable phases in binary alloy films subjected to ion bombardment (irradiation, implantation, or ion mixing). The formation of fully developed collision cascades and their evolution are assumed to locally provide suitable conditions to the generation of bombardment induced compositional changes at the cascade-lattice interface, as determined by preferential segregation of one alloy component. A local non-equilibrium compositional profile is thus assumed to develop. The subsequent relaxation to (meta) stable equilibrium via interatomic interactions is schematized by a charge transfer event. In each reaction, a couple of atoms is involved, one from each alloy component; by charge transfer within the starting atom pair a new couple, composed of atoms different from those of the starting compound is obtained. Comparing surface and thermochemical properties of starting and effective alloys, qualitative differences are found between the two classes of alloys, respectively vitrified or crystalline under ion bombardment.Es wird ein Modell entwickelt zur Erklsrung und Vorhersage der Keimbildung von kristallinen oder metastabilen amorphen Phasen in binaren Legierungsschichten, die einem IonenbeschuD (Bestrahlung, Implantation oder ioneninduziertem Mischen) unterworfen werden. Dabei wird angenommen, daD die Formierung voll ausgebildeter StoDkaskaden und ihre zeitliche Entwicklung lokal geeignete Bedingungen liefern fur die Erzeugung von beschul3induzierten kompositionellen Anderungen an der Grenzflache zwischen Kaskade und Gitter, die aus der Segregation einer Legierungskomponente ermittelt wurden. Damit wird angenommen, daB sich ein lokales kompositionelles Nichtgleichgewichtsprofil entwickelt. Die nachfolgende Relaxation zum (meta)stabilen Gleichgewicht durch interatomare Wechselwirkungen wird durch einen Ladungstransfer schematisiert. An jeder Reaktion sind Atome von beiden Legierungskomponenten beteiligt. Durch Ladungstransfer zwischen dem anfanglichen Atompaar wird eine neue Atomgruppe gebildet, die sich aus anderen Atomen zusammensetzt als in der Ausgangsverbindung. Beim Vergleich der Oberflachen-und thermochemischen Eigenschaften der Ausgangs-und effektiven Legierungen werden qualitative Unterschiede zwischen den beiden Legierungsklassenamorph oder kristallin nach IonenbeschuDgefunden. \ B segregant: ( Z , -1 e-) (Z, + 1 e-) .
